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公开(公告)号：CN105892234B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201610053543.9
申请日：2016-01-26
Applicant: 北京理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统，沿着光路传播方向，所述系统包括三组反射镜，第一组反射镜由视场复眼阵列组成，第二组反射镜由光阑复眼阵列组成，第三组反射镜为中继镜组；其中，所述视场复眼阵列由N个视场复眼构成，每一视场复眼为一个自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面为矩形，且所有矩形的尺寸均不相同；所述光阑复眼阵列由N个光阑复眼构成，每一光阑复眼为一个球面反射镜或自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面均为矩形，且所有矩形的尺寸相同；视场复眼阵列上的N个视场复眼与光阑复眼阵列上的N个光阑复眼一一对应，所述N为照明系统出瞳面上光强值不为零的像素的总数；本发明系统可在出瞳面上实现像素化光强分布。
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公开(公告)号：CN104317169B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201410608655.7
申请日：2014-11-03
Applicant: 北京理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种极紫外光刻波纹板照明系统，包括光源、收集镜、波纹板和中继镜组；光源发出的EUV光经收集镜收集后形成平行光束或小角度会聚的近似平行光束依次经过波纹板、中继镜组后照射到掩模上；波纹板为垂直于轴线方向上依次排列的柱面反射镜阵列，用于将入射宽光束分割为多个通道，每个通道分别对光源成子午像和弧矢像；中继镜组由修正型复合抛物面聚光镜(CPC)与二次曲面反射镜组组成，用于将波纹板所成的子午像叠加到掩模面上，将波纹板所成的弧矢像成像在照明系统的出瞳上。本发明通过减少系统中反射镜的数量，提高系统光能利用率。
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公开(公告)号：CN105892234A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610053543.9
申请日：2016-01-26
Applicant: 北京理工大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70058 , G03F7/70075 , G03F7/70083 , G03F7/702
Abstract: 本发明提供一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统，沿着光路传播方向，所述系统包括三组反射镜，第一组反射镜由视场复眼阵列组成，第二组反射镜由光阑复眼阵列组成，第三组反射镜为中继镜组；其中，所述视场复眼阵列由N个视场复眼构成，每一视场复眼为一个自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面为矩形，且所有矩形的尺寸均不相同；所述光阑复眼阵列由N个光阑复眼构成，每一光阑复眼为一个球面反射镜或自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面均为矩形，且所有矩形的尺寸相同；视场复眼阵列上的N个视场复眼与光阑复眼阵列上的N个光阑复眼一一对应，所述N为照明系统出瞳面上光强值不为零的像素的总数；本发明系统可在出瞳面上实现像素化光强分布。
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公开(公告)号：CN104460242A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410765092.2
申请日：2014-12-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供一种基于自由曲面式光阑复眼的极紫外光刻照明系统，该系统包括视场复眼、光阑复眼及二次曲面反射镜；其中，视场复眼由若干个抛物面反射镜构成，入射光束在每一抛物面反射镜上发生掠入射，并以平行光束出射至光阑复眼上；光阑复眼由若干个自由曲面反射镜构成，每一自由曲面反射镜用以对入射其上的光束整形，使得光阑复眼出射光束在指定平面处为一个均匀的弧形光斑；二次曲面反射镜，用于将所述弧形光斑成像于掩模面上，将光阑复眼成像于投影物镜的入瞳面上。该照明系统由三组反射镜构成，极大的提高了系统的能量利用率。同时，该系统采用自由曲面式光阑复眼，以在掩模面上获得满足要求的均匀弧形光斑。
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公开(公告)号：CN102629082A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210132163.6
申请日：2012-04-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供一种极紫外光刻复眼照明系统的设计方法，具体步骤为：跟据指定的投影物镜的参数确定照明系统出瞳距离；确定坐标系，获取各器件的坐标；根据所述出瞳距离和掩膜面中心坐标，确定出瞳中心的坐标；令出瞳中心与掠入射镜非邻近焦点重合，计算出掠入射镜的曲率半径；令第一中继镜的非邻近焦点与掠入射镜的邻近焦点重合，计算出第一中继镜的曲率半径；令第二中继镜的邻近焦点与第一中继镜的邻近焦点重合，计算出第二中继镜的曲率半径；令聚光镜的非邻近焦点为匀光系统出射光线的会聚点，根据所述会聚点确定匀光系统中光阑复眼平板和视场复眼平板上复眼元的排布。本发明设计方法可以适用于不同的投影物镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104317169A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201410608655.7
申请日：2014-11-03
Applicant: 北京理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种极紫外光刻波纹板照明系统，包括光源、收集镜、波纹板和中继镜组；光源发出的EUV光经收集镜收集后形成平行光束或小角度会聚的近似平行光束依次经过波纹板、中继镜组后照射到掩模上；波纹板为垂直于轴线方向上依次排列的柱面反射镜阵列，用于将入射宽光束分割为多个通道，每个通道分别对光源成子午像和弧矢像；中继镜组由修正型复合抛物面聚光镜(CPC)与二次曲面反射镜组组成，用于将波纹板所成的子午像叠加到掩模面上，将波纹板所成的弧矢像成像在照明系统的出瞳上。本发明通过减少系统中反射镜的数量，提高系统光能利用率。
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公开(公告)号：CN103488061B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201310467422.5
申请日：2013-10-09
Applicant: 北京理工大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70141 , G03F7/705
Abstract: 本发明提供一种极紫外光刻机中匹配多个物镜的照明系统调整与设计方法，该方法适用的照明系统包括光源、聚光镜、视场复眼、光阑复眼以及中继镜组；该方法的具体步骤为：在极紫外光刻机更换投影物镜前：利用光线追迹，计算中继镜A的出射光线在子午面和弧矢面上的孔径角；在极紫外光刻机更换投影物镜后：取出瞳面的中心点作为物点进行光线追迹；通过调整中继镜A和B的倾斜角和位置，以及调整光阑复眼和视场复眼上中心复眼元的倾斜角度，直至当前照明系统的像面与投影物镜对应的弧形像面相近为止。基于本发明调整方法对照明系统进行调整，可得到与该投影物镜系统相匹配的照明系统，从而大大降低了投影式光刻机的设计成本。
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公开(公告)号：CN102981375B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201210540051.4
申请日：2012-12-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法，具体过程为：获取照明系统的出瞳直径和出瞳距离；设定一虚拟面，且虚拟面与光刻照明系统的出瞳面关于掩模面对称；设置一孔径光阑，所述孔径光阑位置与掩模面上弧形区域的位置重合，且该孔径光阑的尺寸与弧形区域的尺寸相同；令第一中继镜的非临近焦点与所述虚拟面的中心重合，且使所述虚拟面经过第一中继镜反射后成像在它的临近焦点上；令孔径光阑经过第一中继镜反射后成像在第二中继镜的临近焦点上，再经过第二中继镜反射后成像在它的非临近焦点上；利用光线追踪原理，基于所述出瞳直径、出瞳距离及两中继镜的相对位置关系，计算出两中继镜的面型参数和位置坐标。
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公开(公告)号：CN103488061A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310467422.5
申请日：2013-10-09
Applicant: 北京理工大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70141 , G03F7/705
Abstract: 本发明提供一种极紫外光刻机中匹配多个物镜的照明系统调整与设计方法，该方法适用的照明系统包括光源、聚光镜、视场复眼、光阑复眼以及中继镜组；该方法的具体步骤为：在极紫外光刻机更换投影物镜前：利用光线追迹，计算中继镜A的出射光线在子午面和弧矢面上的孔径角；在极紫外光刻机更换投影物镜后：取出瞳面的中心点作为物点进行光线追迹；通过调整中继镜A和B的倾斜角和位置，以及调整光阑复眼和视场复眼上中心复眼元的倾斜角度，直至当前照明系统的像面与投影物镜对应的弧形像面相近为止。基于本发明调整方法对照明系统进行调整，可得到与该投影物镜系统相匹配的照明系统，从而大大降低了投影式光刻机的设计成本。
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公开(公告)号：CN104460242B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410765092.2
申请日：2014-12-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供一种基于自由曲面式光阑复眼的极紫外光刻照明系统，该系统包括视场复眼、光阑复眼及二次曲面反射镜；其中，视场复眼由若干个抛物面反射镜构成，入射光束在每一抛物面反射镜上发生掠入射，并以平行光束出射至光阑复眼上；光阑复眼由若干个自由曲面反射镜构成，每一自由曲面反射镜用以对入射其上的光束整形，使得光阑复眼出射光束在指定平面处为一个均匀的弧形光斑；二次曲面反射镜，用于将所述弧形光斑成像于掩模面上，将光阑复眼成像于投影物镜的入瞳面上。该照明系统由三组反射镜构成，极大的提高了系统的能量利用率。同时，该系统采用自由曲面式光阑复眼，以在掩模面上获得满足要求的均匀弧形光斑。
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