公开(公告)号：CN118824824A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410803496.X

申请日：2024-06-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 邵佳丽 ,  陈辉 ,  芦永佳 ,  林萍 ,  李进 ,  王龙 ,  贾卫泽 ,  刘永欢

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317 ,  G01R31/40 ,  G01R31/34 ,  G01R19/165

Abstract: 本发明公开了一种大束流离子注入机用束流监测和响应系统及其应用方法，系统包括低压电源Glitch监测模块、高压电源Glitch监测模块、电机使能监测模块、剂量补充模块、束流中断模块和Glitch Test模块；低压电源Glitch监测模块用于监测低压电源是否发生Glitch；高压电源Glitch监测模块用于监测高压电源是否发生Glitch；电机使能监测模块用于监测电机是否掉使能；剂量补充模块用于补偿发生Glitch后的产品剂量缺失；束流中断模块用于发生Glitch后中断束流。本发明具有检测全面、智能化程度高、判定准确性高等优点。

公开(公告)号：CN118824931A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410803495.5

申请日：2024-06-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 尹进峰 ,  陈辉 ,  林萍 ,  高瑞松 ,  李进 ,  姜科 ,  佟昊峰 ,  刘洪志 ,  袁印

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/317 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明公开了一种晶圆电荷量控制方法及系统，控制方法包括：当晶圆放置在靶盘上时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷，从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内；当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷量在预设范围内。本发明具有控制简单且控制精准等优点。

公开(公告)号：CN116417318A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202111660479.8

申请日：2021-12-30

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/24

Abstract: 本发明公开了一种泄放电荷积累的方法，在引束过程中电极(4)在空间电荷的作用下，使电极(4)上不断积累电荷，电极(4)上积累一定电荷数量，会引起电极上电位的不稳定。最终影响产品的工艺要求。必须泄放电极(4)的积累电荷。在高压电源1(1)的输出端并联一个高压电阻(3)和高压恒流源(2)组成的泄放回路。高压恒流源(2)设定值的大小决定整个回路泄放电流的能力。根据基尔霍夫电压定律和电流定律，可知高压电阻(3)和高压恒流源(2)的两端电压即为高压电源(1)的输出电压。高压电源(1)的电极(4)积累电荷通过高压电阻(3)回路泄放掉。使高压电源(1)的输出电压值稳定。此方法简单可靠且能泄放负载电极(4)的电荷积累，保障了产品的工艺要求。

公开(公告)号：CN119943631A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202411905120.6

申请日：2024-12-23

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 李进 ,  陈辉 ,  林萍 ,  尚成国 ,  徐志华

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/244 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明公开了一种离子注入机的束流Glitch恢复方法及系统，方法包括步骤：实时监测束流Glitch；当发生束流Glitch时，立即关断束流，同时记录晶圆注入中断位置，记为第一中断位置，同时晶圆运动到安全位置；监测束流稳定性和均匀性达到指标后，立即启动一次Glitch的反向补打，晶圆进行一次Glitch的反向补打；在进行晶圆一次Glitch反向补打时，晶圆从未注入区域开始补打，当晶圆运动到注入第一中断位置时关断束流，至此，一次Glitch补打注入结束。本发明不仅能够完成一次束流Glitch的补打，还可以实现多次Glitch的补打，为离子注入机产品安全的重要补救方法。

公开(公告)号：CN119519392A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411502892.5

申请日：2024-10-25

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 尹进峰 ,  陈辉 ,  林萍 ,  高瑞松 ,  李进 ,  丰冠会 ,  徐志华 ,  郭晓杰

IPC: H02M1/32 ,  H02M3/06 ,  H02J1/00

Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的具有双向能量控制特性的高压直流电源，包括电压源、电流源和限流单元；所述电流源与限流单元串联后，整体再与电压源并联以对外输出。本发明的具有双向能量控制特性的高压直流电源，能够有效的通过电源内部的限流电阻设计，从而使得电源具有双向电流输出能力，能够实现输出能量和吸收能量的双向功能特性；本发明可以灵活设定电流源电流或电压源电压；电流源可以根据需要外部受控调节电流；电压源可以根据需要外部受控调节电压。

公开(公告)号：CN119322202A

公开(公告)日：2025-01-17

申请号：CN202411271895.2

申请日：2024-09-11

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 尚成国 ,  陈辉 ,  林萍 ,  官清 ,  张新建 ,  陈满 ,  李进 ,  司文涛 ,  李琦 ,  苏梦宁

IPC: G01R27/02

Abstract: 本发明公开了一种离子注入机线圈电阻率的非接触式测量系统及方法，系统包括控制单元、磁场检测单元和感应线圈单元；所述控制单元分别与所述磁场检测单元、感应线圈单元和待测线圈相连；所述磁场检测单元用于检测待测线圈产生的磁场信号，并发送至控制单元；所述感应线圈单元用于产生与待测线圈相对应的感应电动势，并发送至控制单元；所述控制单元用于接收磁场检测单元的磁场信号和感应线圈单元的感应电动势以计算得到线圈电阻率。本发明具有测量精准等优点。

公开(公告)号：CN118884289A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202410803494.0

申请日：2024-06-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 尹进峰 ,  陈辉 ,  林萍 ,  李进 ,  程全森 ,  李晓其 ,  高国珺 ,  于兆昕

IPC: G01R31/40 ,  G01R31/12

Abstract: 本发明公开了一种离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，包括间隙放电组件、间隙控制驱动机构、放电控制器和待测高压电源；所述间隙放电组件包括高压电位引出电极和地电位引出电极，所述高压电位引出电极与所述地电位引出电极之间平行布置，所述高压电位引出电极与待测高压电源相连；所述放电控制器与所述间隙控制驱动机构相连，用于控制所述间隙控制驱动机构来调整高压电位引出电极与所述地电位引出电极之间的放电间隙距离；所述放电控制器与待测高压电源相连，用于控制所述待测高压电源输出目标电压并检测高压电源的状态信息。本发明具有结构简单、操作简便等优点。

公开(公告)号：CN218866377U

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202223506852.7

申请日：2022-12-27

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍

IPC: G05D23/20 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆加热的控制系统，包括加热电源和加热盘，所述加热电源包括温控器和固态继电器，所述加热电源中的温控器用来控制固态继电器的输出电压，所述固态继电器的输出电压送至加热盘并令加热盘产生相应的热量，所述加热盘用来将通电产生的热量传导热量给晶圆。本实用新型具有结构简单、操作简便、稳定性高、抗干扰能力强等优点。