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发明公开
一种离子注入机线圈电阻率的非接触式测量系统及方法审中-实审

公开(公告)号：CN119322202A

公开(公告)日：2025-01-17

申请号：CN202411271895.2

申请日：2024-09-11

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 尚成国 , 陈辉 , 林萍 , 官清 , 张新建 , 陈满 , 李进 , 司文涛 , 李琦 , 苏梦宁

IPC: G01R27/02

Abstract: 本发明公开了一种离子注入机线圈电阻率的非接触式测量系统及方法，系统包括控制单元、磁场检测单元和感应线圈单元；所述控制单元分别与所述磁场检测单元、感应线圈单元和待测线圈相连；所述磁场检测单元用于检测待测线圈产生的磁场信号，并发送至控制单元；所述感应线圈单元用于产生与待测线圈相对应的感应电动势，并发送至控制单元；所述控制单元用于接收磁场检测单元的磁场信号和感应线圈单元的感应电动势以计算得到线圈电阻率。本发明具有测量精准等优点。

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