用于制备薄膜的筒型辐射式加热器

    公开(公告)号:CN1499164A

    公开(公告)日:2004-05-26

    申请号:CN02146098.1

    申请日:2002-11-04

    Abstract: 本发明公开了一种用于制备薄膜的筒型辐射式加热器,包括一筒型炉体,在炉体的炉壁上绕有加热丝,炉体的外侧有隔热层,所述的加热丝受控于一控温单元装置;炉体炉底周边上均布若干孔。本加热器结构合理紧凑;温度恒温区面积有足够大的尺寸,可满足制备大面积双面超导薄膜的要求;温度可调且选择范围宽,温度可调且选择范围宽;使用该加热器,方便确定薄膜最佳工艺参数,并具重复性;使用寿命长,抗破坏能力强。

    筒型辐射式加热器
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2575575Y

    公开(公告)日:2003-09-24

    申请号:CN02282480.4

    申请日:2002-11-04

    Abstract: 本实用新型公开了一种筒型辐射式加热器,包括一筒型炉体,在炉体的炉壁上绕有加热丝,炉体的外侧有隔热层,所述的加热丝受控于一控温单元装置;炉体炉底周边上均布若干孔。本加热器结构合理紧凑;温度恒温区面积有足够大的尺寸,可满足制备大面积双面超导薄膜的要求;温度可调且选择范围宽,重复性好,使用寿命长,抗破坏能力强。

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