LDMOSFET结构的ESD器件及制造方法、芯片

    公开(公告)号:CN120035179A

    公开(公告)日:2025-05-23

    申请号:CN202510341315.0

    申请日:2025-03-21

    Abstract: 本发明涉及半导体技术领域,提供一种LDMOSFET结构的ESD器件及制造方法、芯片。该器件包括:衬底、体区、漂移区、源区、漏区及栅极结构,体区及漂移区形成于衬底中,源区连接源极金属层,漏区连接漏极金属层,栅极结构包括栅氧化层、多晶硅栅极、多晶硅电阻以及金属硅化物层,多晶硅栅极及多晶硅电阻形成于栅氧化层的表面,金属硅化物层形成于多晶硅栅极的表面,多晶硅栅极通过金属硅化物层与多晶硅电阻形成导电通道;多晶硅栅极的侧端设有氮化硅侧墙,氮化硅侧墙与漏极金属层相接,多晶硅栅极、氮化硅侧墙及漏极金属层构成电容结构。本发明为等效于RC型ESD保护电路的高压ESD器件,缩小了ESD器件的面积。

    隔离器件耐压测试的装置、制造方法及耐压测试的方法

    公开(公告)号:CN115356606B

    公开(公告)日:2025-04-29

    申请号:CN202210929159.6

    申请日:2022-08-03

    Abstract: 本公开涉及电力技术领域,具体涉及一种隔离器件耐压测试的装置、制造方法及耐压测试的方法,所述装置包括:一对夹具、PCB板、金属和底座;所述一对夹具固定于所述底座上;每个夹具包括上夹板和下夹板,所述下夹板上设置所述PCB板,所述PCB板上设置所述金属;其中,当隔离器的两侧端子分别接触所述金属短接时,所述隔离器与所述底座之间为空气隔开。本公开提供的装置,隔离器与底座之间由空气隔开,利用空气绝缘性较好的原理,可以大大提高隔离器耐压测试的上限,防止在隔离器测试过程当中,因测试工装自身耐压不足产生闪络、火花等击穿现象,从而可以在较高的测试电压下测试隔离器,能够更加全面的评估隔离器的性能指标。

    电阻测试结构及电阻测试方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119742300A

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202411772744.5

    申请日:2024-12-04

    Abstract: 本发明涉及半导体技术领域,提供一种电阻测试结构及电阻测试方法。所述电阻测试结构包括位于半导体衬底上的测试电阻,所述测试电阻包括第一端部区、第二端部区以及位于第一端部区与第二端部区之间的中部区;第一端部区连接第一端部引线结构,第二端部区连接第二端部引线结构,中部区连接至少一组中部引线结构,中部引线结构与第一端部引线结构和第二端部引线结构将测试电阻分隔为多个量测子区域。在量测过程中,通过单独量测各个量测子区域的量测电阻值以及测试电阻的整体量测电阻值,从而计算出冗余量测电阻值,将整体量测电阻值与冗余量测电阻值的差值作为测试电阻真实的量测电阻值,提升对测试电阻的阻值量测的准确性。

    非对称型混合多栅半导体器件及其制作方法、芯片

    公开(公告)号:CN119545855A

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411404024.3

    申请日:2024-10-09

    Abstract: 本申请公开了一种非对称型混合多栅半导体器件及其制作方法、芯片,属于半导体技术领域。所述非对称型混合多栅半导体器件包括:衬底,包括第一高压阱区,第一高压阱区中设有沿目标方向依次连接的漏极区、第一漂移区和第二漂移区,第二漂移区的掺杂浓度大于第一漂移区的掺杂浓度;第二漂移区中的阱区中设有沿目标方向相间隔的第一源极区和第二源极区,第一源极区靠近第一漂移区一侧的阱区构成第一沟道区,第二源极区底部的阱区构成第二沟道区;第一栅极结构,覆盖第一沟道区;第二栅极结构,位于第一高压阱区内,且覆盖第二沟道区。本申请能够在提高器件的过电流能力的同时,维持了较小的器件面积,保证了器件集成度。

    延伸漏极MOS器件及制造方法、芯片

    公开(公告)号:CN119521738A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411532104.7

    申请日:2024-10-30

    Abstract: 本发明涉及半导体领域,提供一种延伸漏极MOS器件及制造方法、芯片。所述延伸漏极MOS器件包括:衬底、P型阱区、N型深阱区、浅槽隔离区、源区、漏区及栅极,浅槽隔离区包括第一浅槽隔离区、第二浅槽隔离区以及第三浅槽隔离区,第一浅槽隔离区位于栅极与漏区之间,第二浅槽隔离区位于漏区与衬底接口之间,第三浅槽隔离区位于源区与衬底接口之间;N型深阱区位于第一浅槽隔离区及漏区的下方,N型深阱区内设有第二P型阱区,第二P型阱区与第一浅槽隔离区纵向相接。本发明将内部有P型阱区的N型深阱区作为漂移区结构,提升了器件的击穿电压和安全工作区,该器件的制造方法与CMOS工艺完全兼容,降低了制造成本。

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