一种针对CoW模组的ATE测试方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119936613A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411939915.9

    申请日:2024-12-26

    Abstract: 一种针对CoW模组的ATE测试方法,包括:对CoW模组晶圆进行切割;将切割后的单个CoW模组与WLCSP测试插座进行连接,并将WLCSP测试插座连接在测试板上,将布置好CoW模组与WLCSP测试插座的测试板与ATE连接;针对单个CoW模组的测试需求设计ATE测试程序,进行相应的CoW模组测试。本发明采用CoW模组切割后通过WLCSP测试插座进行ATE测试,有效解决了因CoW模组翘曲过大而导致的采用探针台难以中测的问题,从而实现对CoW模组的晶圆级测试,可有助于提高封装成品良率,满足宇航应用场景下对高可靠的需求。

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