公开(公告)号：CN117848679B

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410034900.1

申请日：2024-01-09

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 梁士通 ,  王立 ,  盖芳钦 ,  张俊 ,  邓楼楼 ,  张江涛 ,  王维新 ,  赵亚芹

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明涉及成像检测技术领域，特别涉及一种显微成像系统的离焦检测装置及方法。该装置包括：一个控制器以及沿光轴依次设置的一个编码盘、一个高倍显微物镜、一个探测器，编码盘柱面上设置有多个均匀分布的圆孔，每个圆孔均用于为探测器提供探测目标，以使控制器获取成像数据；高倍显微物镜用于将每个圆孔成像在探测器上；探测器设置于圆孔成像的基准焦平面，用于接收每个圆孔成的像，并在探测器上形成一个像斑；控制器与探测器电连接，控制器用于获取每个像斑的成像数据，并对成像数据进行计算，得到编码盘的离焦量；成像数据包括像斑在像面上占据的像元值和角位置。本发明提供了非物理接触的测量方法，可以有效提高系统离焦量的测量精度。

公开(公告)号：CN117848679A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202410034900.1

申请日：2024-01-09

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 梁士通 ,  王立 ,  盖芳钦 ,  张俊 ,  邓楼楼 ,  张江涛 ,  王维新 ,  赵亚芹

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明涉及成像检测技术领域，特别涉及一种显微成像系统的离焦检测装置及方法。该装置包括：一个控制器以及沿光轴依次设置的一个编码盘、一个高倍显微物镜、一个探测器，编码盘柱面上设置有多个均匀分布的圆孔，每个圆孔均用于为探测器提供探测目标，以使控制器获取成像数据；高倍显微物镜用于将每个圆孔成像在探测器上；探测器设置于圆孔成像的基准焦平面，用于接收每个圆孔成的像，并在探测器上形成一个像斑；控制器与探测器电连接，控制器用于获取每个像斑的成像数据，并对成像数据进行计算，得到编码盘的离焦量；成像数据包括像斑在像面上占据的像元值和角位置。本发明提供了非物理接触的测量方法，可以有效提高系统离焦量的测量精度。