公开(公告)号：CN116207605A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202211549261.X

申请日：2022-12-05

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 金冬月 ,  周钰鑫 ,  张万荣 ,  那伟聪 ,  雷鑫 ,  刘圆圆 ,  韩赵会

IPC: H01S5/024 ,  H01S5/183 ,  H01S5/42

Abstract: 本发明公开了一种结温可调的垂直腔面发射激光器，包括由N型电极(10)和衬底层(11)组成的衬底，由N型DBR(31)、有源区(32)、SiO2层(33)、氧化限制层(34)、P型DBR(35)、正电极(36)组成的VCSEL，和由P型电极端(21)、多组热电偶对和接地端(26)组成的串联热电偶对。本发明所述激光器还可由多个结温可调的垂直腔面发射激光器构成二维阵列结构，其中每个结温可调的垂直腔面发射激光器的结温均可通过设置相应的P型电极端(21)注入的电流进行调节。与常规垂直腔面发射激光器相比，本发明可实现对单个激光器和具有二维阵列结构激光器结温的精准调控，从而有效提高激光器的热可靠性。