具有低温度敏感性的SOI SiGe异质结双极晶体管

    公开(公告)号:CN109742138B

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN201910000686.7

    申请日:2019-01-02

    Abstract: 本发明公开了一种具有低温度敏感性的SOI SiGe异质结双极晶体管。晶体管采用由SiO2绝缘层和Si3N4绝缘层组成的多层绝缘层结构,可以有效减小衬底寄生电容,提高器件频率特性;降低漏电流,使得器件具有更低的功耗;消除闩锁效应以及改善混频信号电路串扰问题。Si3N4绝缘层改善器件热阻,达到降低器件整体温度分布的目的。晶体管的SiGe基区中Ge组分采用从发射结侧向集电结侧呈递增的阶梯型分布结构,在保证较高特征频率和较大电流增益的同时,使器件电流增益随温度变化趋势变缓,器件的温度敏感性得到改善。所述晶体管的结温更低,电流增益和静态工作点抗扰动能力更强,可在较宽的工作偏置范围内实现器件的热稳定工作。

    具有低温度敏感性的SOI SiGe异质结双极晶体管

    公开(公告)号:CN109742138A

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201910000686.7

    申请日:2019-01-02

    Abstract: 本发明公开了一种具有低温度敏感性的SOI SiGe异质结双极晶体管。晶体管采用由SiO2绝缘层和Si3N4绝缘层组成的多层绝缘层结构,可以有效减小衬底寄生电容,提高器件频率特性;降低漏电流,使得器件具有更低的功耗;消除闩锁效应以及改善混频信号电路串扰问题。Si3N4绝缘层改善器件热阻,达到降低器件整体温度分布的目的。晶体管的SiGe基区中Ge组分采用从发射结侧向集电结侧呈递增的阶梯型分布结构,在保证较高特征频率和较大电流增益的同时,使器件电流增益随温度变化趋势变缓,器件的温度敏感性得到改善。所述晶体管的结温更低,电流增益和静态工作点抗扰动能力更强,可在较宽的工作偏置范围内实现器件的热稳定工作。

    一种高精度线偏振信息测量装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116465496A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310396982.X

    申请日:2023-04-13

    Abstract: 一种高精度线偏振信息测量装置,涉及半导体线偏振光信息测量相关技术领域。包括探测单元模块、电压处理模块、计算及输出模块三部分。两组通过电路串联且最大偏振敏感方向分别相差45°的4个探测器作为探测单元模块,当线偏振光照射下,在一定电源偏置下,探测单元模块产生两路电压,产生的电压仅与偏振角度有关;两路电压经过电压处理模块,分别通过编程增益的电压放大器和差值处理电路得到一路过滤了共模干扰的电压信号;最后将处理后的电压信号传递给计算及输出模块,模块中的计算单元通过计算处理通过通信的方式交给显示设备,得到可视化的线偏振信息。

    具有高特征频率-击穿电压优值的SOI SiGe异质结双极晶体管

    公开(公告)号:CN108010962B

    公开(公告)日:2020-06-19

    申请号:CN201711227122.4

    申请日:2017-11-29

    Abstract: 本发明公开了一种具有高特征频率‑击穿电压优值的SOI SiGe异质结双极晶体管。所述晶体管采用薄的N+埋层结构来显著提高N‑集电区内靠近埋氧层一侧的电子浓度,从而通过减小器件的集电区串联电阻来降低集电结空间电荷区延迟时间,达到提高器件特征频率的目的。所述晶体管采用p型超结层结构来改善集电结空间电荷区的电场分布,使得集电结空间电荷区电场分布趋于平缓,从而可以降低峰值电子浓度,抑制碰撞电离,达到提高器件击穿电压的目的。与常规的功率异质结双极晶体管相比,同时兼顾了器件的高频特性和高击穿特性,从而保持了高的特征频率‑击穿电压优值(fT×BVCEO),可有效拓展功率异质结双极晶体管在射频和微波功率领域的应用。

    具有高特征频率-击穿电压优值的SOI SiGe异质结双极晶体管

    公开(公告)号:CN108010962A

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201711227122.4

    申请日:2017-11-29

    Abstract: 本发明公开了一种具有高特征频率-击穿电压优值的SOI SiGe异质结双极晶体管。所述晶体管采用薄的N+埋层结构来显著提高N-集电区内靠近埋氧层一侧的电子浓度,从而通过减小器件的集电区串联电阻来降低集电结空间电荷区延迟时间,达到提高器件特征频率的目的。所述晶体管采用p型超结层结构来改善集电结空间电荷区的电场分布,使得集电结空间电荷区电场分布趋于平缓,从而可以降低峰值电子浓度,抑制碰撞电离,达到提高器件击穿电压的目的。与常规的功率异质结双极晶体管相比,同时兼顾了器件的高频特性和高击穿特性,从而保持了高的特征频率-击穿电压优值(fT×BVCEO),可有效拓展功率异质结双极晶体管在射频和微波功率领域的应用。

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