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公开(公告)号：CN111045121B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201911301090.7
申请日：2019-12-17
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种偏振控制的表面等离激元双功能超表面及其设计和制备方法，所述超表面纵向采用采用金属‑介质‑金属三层结构，表面为梯形单元结构阵列，实现不同偏振态下光的振幅与相位的独立调控：可对x方向偏振光进行相位调控，实现偏转器功能；可对y方向偏振光进行振幅调控，实现结构色功能。该种双功能结构提高了超表面结构的集成度与调控多样性，偏转、结构色两种应用既相互独立又互为补充，两种功能的结合为防伪、生物组织双折射的测量、生物分子旋光度的测量提供了全新的解决方案。
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公开(公告)号：CN111045121A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911301090.7
申请日：2019-12-17
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种偏振控制的表面等离激元双功能超表面及其设计和制备方法，所述超表面纵向采用采用金属-介质-金属三层结构，表面为梯形单元结构阵列，实现不同偏振态下光的振幅与相位的独立调控：可对x方向偏振光进行相位调控，实现偏转器功能；可对y方向偏振光进行振幅调控，实现结构色功能。该种双功能结构提高了超表面结构的集成度与调控多样性，偏转、结构色两种应用既相互独立又互为补充，两种功能的结合为防伪、生物组织双折射的测量、生物分子旋光度的测量提供了全新的解决方案。
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公开(公告)号：CN110265793B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201910486144.5
申请日：2019-06-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种三维纳米天线阵列的制备方法，属于微米/纳米加工技术领域。该方法利用绘制的二维展开阵列图形及三维转换图形；先在悬浮薄膜上应用FIB刻蚀出纳米天线二维阵列结构；然后再应用FIB‑SID技术，根据三维转换图形使前述结构转换成三维阵列结构。本发明采用的FIB‑SID技术制备纳米天线阵列，工艺方法简单、稳定并且对材料的适用性好，可实现高效率大规模三维阵列结构加工，推进了大规模三维超材料器件化的研究和应用。
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公开(公告)号：CN110265793A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910486144.5
申请日：2019-06-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种三维纳米天线阵列的制备方法，属于微米/纳米加工技术领域。该方法利用绘制的二维展开阵列图形及三维转换图形；先在悬浮薄膜上应用FIB刻蚀出纳米天线二维阵列结构；然后再应用FIB-SID技术，根据三维转换图形使前述结构转换成三维阵列结构。本发明采用的FIB-SID技术制备纳米天线阵列，工艺方法简单、稳定并且对材料的适用性好，可实现高效率大规模三维阵列结构加工，推进了大规模三维超材料器件化的研究和应用。
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