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公开(公告)号:CN117169850A
公开(公告)日:2023-12-05
申请号:CN202210579265.6
申请日:2022-05-26
Applicant: 北京大学
IPC: G01S7/481
Abstract: 本发明公开一种相位梯度超表面及其制备方法和应用,属于纳米光子学领域。本发明相位梯度超表面包括三层材料,底层是厚金属层,可以把入射光全部反射,避免透射损失;中间层是透明介质层,把上下两层金属隔离开;顶层是金属材质的平面阵列,由复合梯形对单元周期性排列而成,复合梯形对单元为两个梯形相互套构而成,包括x方向排列的两个梯形的同向梯形对结构、对尾梯形对结构和对头梯形对结构,以及y方向交错排列的两个梯形构成的交错梯形对结构,采用本发明可以实现调频连续波激光雷达多路扫描,可以大大促进FMCW激光雷达系统的小型化、节能化、商业化。
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公开(公告)号:CN110265793B
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:CN201910486144.5
申请日:2019-06-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种三维纳米天线阵列的制备方法,属于微米/纳米加工技术领域。该方法利用绘制的二维展开阵列图形及三维转换图形;先在悬浮薄膜上应用FIB刻蚀出纳米天线二维阵列结构;然后再应用FIB‑SID技术,根据三维转换图形使前述结构转换成三维阵列结构。本发明采用的FIB‑SID技术制备纳米天线阵列,工艺方法简单、稳定并且对材料的适用性好,可实现高效率大规模三维阵列结构加工,推进了大规模三维超材料器件化的研究和应用。
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公开(公告)号:CN110265793A
公开(公告)日:2019-09-20
申请号:CN201910486144.5
申请日:2019-06-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种三维纳米天线阵列的制备方法,属于微米/纳米加工技术领域。该方法利用绘制的二维展开阵列图形及三维转换图形;先在悬浮薄膜上应用FIB刻蚀出纳米天线二维阵列结构;然后再应用FIB-SID技术,根据三维转换图形使前述结构转换成三维阵列结构。本发明采用的FIB-SID技术制备纳米天线阵列,工艺方法简单、稳定并且对材料的适用性好,可实现高效率大规模三维阵列结构加工,推进了大规模三维超材料器件化的研究和应用。
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