公开(公告)号：CN104241393A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410428650.6

申请日：2014-08-27

Applicant: 北京大学

Inventor： 韩德栋 ,  陈卓发 ,  赵楠楠 ,  王漪 ,  丛瑛瑛 ,  吴静 ,  赵飞龙 ,  董俊辰 ,  黄伶灵 ,  张翼 ,  张盛东 ,  刘力锋 ,  刘晓彦 ,  康晋锋

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L29/78642 ,  H01L29/66742 ,  H01L29/78693 ,  H01L29/78696

Abstract: 本发明提供了一种玻璃衬底或者塑料衬底上制备薄膜晶体管的方法，属于半导体行业、平板显示领域。该薄膜晶体管采用氧化锌锡/氧化铟锡/氧化锌锡三层沟道，可有效提高薄膜晶体管的性能，降低了工业制造成本，使制备工艺更加绿色环保。而且本发明器件显示出优良的电学和光学特性，进一步说明该晶体管能运用于可穿戴电子产品等柔性显示技术。

公开(公告)号：CN104112671A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201410345212.3

申请日：2014-07-18

Applicant: 北京大学

Inventor： 韩德栋 ,  黄伶灵 ,  陈卓发 ,  丛瑛瑛 ,  赵楠楠 ,  吴静 ,  赵飞龙 ,  董俊辰 ,  王漪 ,  刘力锋 ,  张盛东 ,  刘晓彦 ,  康晋锋

IPC: H01L21/34 ,  H01L21/203

CPC classification number: H01L29/66742 ,  H01L29/7869

Abstract: 本发明提供了一种薄膜晶体管的制备方法，属于半导体行业、平板显示领域。该方法利用溅射工艺生长一层掺镍的氧化锌半导体材料层作为薄膜晶体管的导电沟道层，通过调节掺镍的氧化锌靶材的组分，控制溅射氧气分压，可以改善薄膜晶体管的开关比、亚阈摆幅、阈值电压以及迁移率等特性。本发明具有制作成本低，低温工艺，可适用于透明显示和柔性显示技术等优点。