半导体结构的制备方法、半导体结构、器件及设备

    公开(公告)号:CN118073279B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202410178542.1

    申请日:2024-02-09

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本申请提供一种半导体结构的制备方法、半导体结构、器件及设备,该方法包括:在衬底上形成有源结构;基于正面有源结构,形成正面晶体管的正面器件层;在正面器件层上进行后道工艺处理,以形成正面互连层;第一正面互连层、第二正面互连层和第三正面互连层中的任意两个互连层电学连接;倒片并去除衬底;基于背面有源结构,形成背面晶体管的背面器件层;在背面器件层上进行后道工艺处理,以形成背面互连层;第一背面互连层、第二背面互连层和第三背面互连层中的任意两个互连层电学连接。通过本申请,可以提高半导体结构的空间利用率。

    半导体结构的制备方法、半导体结构、器件及设备

    公开(公告)号:CN118073279A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410178542.1

    申请日:2024-02-09

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本申请提供一种半导体结构的制备方法、半导体结构、器件及设备,该方法包括:在衬底上形成有源结构;基于正面有源结构,形成正面晶体管的正面器件层;在正面器件层上进行后道工艺处理,以形成正面互连层;第一正面互连层、第二正面互连层和第三正面互连层中的任意两个互连层电学连接;倒片并去除衬底;基于背面有源结构,形成背面晶体管的背面器件层;在背面器件层上进行后道工艺处理,以形成背面互连层;第一背面互连层、第二背面互连层和第三背面互连层中的任意两个互连层电学连接。通过本申请,可以提高半导体结构的空间利用率。

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