公开(公告)号：CN1114227C

公开(公告)日：2003-07-09

申请号：CN00100121.3

申请日：2000-01-12

Applicant: 北京大学

Inventor： 许铭真 ,  谭长华 ,  何燕东 ,  卫建林 ,  解冰 ,  刘晓卫

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/26

Abstract: 本发明涉及一种半导体器件参数分析系统。包括半导体参数测试仪器，计算机，测试台，计算机与测试仪器接口卡，半导体参数分析软件系统。半导体参数测试仪器测量完整的半导体器件I-V输出特性；半导体参数分析软件系统对测得的I-V特性进行比例差值处理，得到相应的比例差值I-V输出谱特性，并用峰位和峰高度来直接确定半导体器件参数。与传统的拟合法或外推法相比，提高了精度，缩短了分析程序，明显地提高了工效。可应用于各尺度半导体器件参数信息处理领域。

公开(公告)号：CN1261205A

公开(公告)日：2000-07-26

申请号：CN00100121.3

申请日：2000-01-12

Applicant: 北京大学

Inventor： 许铭真 ,  谭长华 ,  何燕东 ,  卫建林 ,  解冰 ,  刘晓卫

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/26

Abstract: 本发明涉及一种半导体器件参数比例差值算符分析方法及其系统。先通过半导体参数测试仪器测量完整的半导体器件Ⅰ－Ⅴ输出特性,然后通过比例差值算符分析软件系统对上述Ⅰ－Ⅴ特性进行比例差值处理,得到相应的比例差值Ⅰ－Ⅴ函数特性和半导体参数。与传统的拟合法或外推法相比,提高了精度,缩短了测试程序,明显地提高了工效。可应用于半导体参数信息处理领域。