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公开(公告)号：CN100429887C
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200610011316.6
申请日：2006-02-09
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 , 清华大学
IPC: H04L12/00
Abstract: 本发明涉及微电子领域。本发明公开的一种刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法，包括：包括集群控制器、工艺模块控制器，连接集群控制器与工艺模块控制器的以太网，还包括通讯模块，该通讯模块通过以太网将控制信息和状态信息在集群控制器与工艺模块控制器之间传输。方法：1)准备工作步骤；2)网络测试连接工作步骤；3)具体通信工作步骤：即进入正常运行状态后，集群控制器通过Web服务器与工艺模块控制器进行信息和指令的交互。
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公开(公告)号：CN100437398C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200610011922.8
申请日：2006-05-17
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 , 清华大学
IPC: G05B19/02
Abstract: 本发明涉及自动控制领域，具体涉及半导体刻蚀工艺中的刻蚀机集群控制器。本发明提出一种刻蚀机集群控制器，包括将数据输入到控制器中的输入设备、存储数据的存储设备、显示监控状态的输出设备、执行控制信息的CPU、以及用于与刻蚀机相连接的传输设备，其中还包括工艺模块，该模块根据模块中存储的工艺流程所需的条件，对刻蚀机输出控制信息。采用本发明，可以实现对半导体刻蚀机的流程工艺的编辑、保存，以及载入现有的流程工艺条件等功能；还具有安全性管理、输入/输出的定制、日志管理、状态灯塔显示、工艺模块和通讯模块的参数设置等功能。
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公开(公告)号：CN1959569A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200610011922.8
申请日：2006-05-17
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 , 清华大学
IPC: G05B19/02
Abstract: 本发明涉及自动控制领域，具体涉及半导体刻蚀工艺中的刻蚀机集群控制器。本发明提出一种刻蚀机集群控制器，包括将数据输入到控制器中的输入设备、存储数据的存储设备、显示监控状态的输出设备、执行控制信息的CPU、以及用于与刻蚀机相连接的传输设备，其中还包括工艺模块，该模块根据模块中存储的工艺流程所需的条件，对刻蚀机输出控制信息。采用本发明，可以实现对半导体刻蚀机的流程工艺的编辑、保存，以及载入现有的流程工艺条件等功能；还具有安全性管理、输入/输出的定制、日志管理、状态灯塔显示、工艺模块和通讯模块的参数设置等功能。
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公开(公告)号：CN1937505A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610011316.6
申请日：2006-02-09
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 , 清华大学
IPC: H04L12/00
Abstract: 本发明涉及微电子领域。本发明公开的一种刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法，包括：集群控制器、工艺模块控制器，连接集群控制器与工艺模块控制器的以太网，还包括通讯模块，该通讯模块通过以太网将控制信息和状态信息在集群控制器与工艺模块控制器之间传输。方法：1)准备工作步骤；2)网络测试连接工作步骤；3)具体通信工作步骤：即进入正常运行状态后，集群控制器通过Web服务器与工艺模块控制器进行信息和指令的交互。
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公开(公告)号：CN103336858A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310218939.0
申请日：2013-06-04
Applicant: 清华大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明涉及一种刻蚀和沉积工艺元胞自动机模拟时三维元胞信息存储结构及操作方法，属于微电子加工过程中对刻蚀和沉积过程模拟技术领域，该存储结构为：创建一个二维静态数组来表示元胞自动机模型信息,该二维静态数组每个元素的信息包括：记录(x,y)列所有表面元胞的个数和一个用来存储(x,y)列所有表面元胞一维动态数组；该一维动态数组中每个元素除记录元胞的信息外，还增加一个记录表面元胞沿z轴坐标值z，用于还原三维元胞自动机模型。一维动态数组zcell中所有元素按坐标值z由小到大排序。该元胞操作方法包括对元胞的随机访问、元胞信息的添加、删除及修改。本发明解决了现有的元胞自动机模拟时使用的三维元胞信息存储结构，不能实现高分辨率元胞自动机模拟的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102521886A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110391099.9
申请日：2011-11-30
Applicant: 清华大学
IPC: G06T19/00
Abstract: 本发明涉及一种化学气相沉积过程的三维模拟方法，属于微电子加工中沉积过程模拟领域，该方法包括用元胞方法(CM)来表示模拟区域Ω中各个位置的材料分布并将沉积图形表面剖分成若干个三角平面；用蒙特卡罗(MC)方法结合空间八叉树非均匀剖分技术实现快速跟踪沉积粒子的输运过程，计算到达沉积图形表面的三角平面，再结合当前位置材料所对应的沉积模型和三角平面的面积等，计算得到沉积图形表面各三角平面沉积速度，避免了沉积速度计算的盲目性；根据计算获得沉积速度，用水平集方法(LS)实现化学气相沉积(CVD)过程沉积表面运动的准确跟踪。该方法可以模拟低压化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积、大气压下化学气相沉积等多种气相沉积过程，实现复杂多种材料构成的沉积图形的沉积模拟。
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公开(公告)号：CN101450652B
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200810246758.8
申请日：2008-12-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种汽车防盗抢安全监控系统，属于汽车防盗抢安全监控技术领域；该系统包括安装在汽车内的嵌入式计算机和与其相连的周边设备，嵌入在所述嵌入式计算机中的开放源码的操作系统和在该操作系统平台上运行的监控程序；所说的周边设备包括采集车内和车外视频图像的摄像头、抢劫报警的紧急按钮、无线通信收发器、隐蔽安装的隐蔽信息显示器和报警扬声器；所说的监控程序包括异动监测层、中心控制层及信息发送层三个相互独立的运行层次，以及两个共享内存区域。本发明以先进的技术和低廉的成本，为普通车主提供了一种智能化、网络化的汽车防盗抢安全监控系统，安装简单，使用方便，功能丰富，对汽车的防盗抢安全问题具有实际应用价值。
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公开(公告)号：CN101881615A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010191271.1
申请日：2010-05-28
Applicant: 清华大学
IPC: G01C11/36
Abstract: 本发明涉及用于驾驶安全中的道路障碍物检测方法，属于计算机应用技术领域，该方法包括：首先车辆上的摄像头对前方路面进行采集，然后提取图像中的角点，并利用光流与K均值对障碍物初步估计，得到障碍物的候选中心位置以及大小；然后利用基于帧差的运动历史消隐法排除前面结果中运动速度不合理的区域，这样得到更加鲁棒的障碍物中心，然后把两种方法结果取并运算，在确认后的障碍物中心周围取区域边界作为每个障碍物的边界。本发明仅使用普通摄像头，实现简易低廉，该方法计算速度快，比较稳定且环境适应能力强。
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公开(公告)号：CN100355055C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200510116695.0
申请日：2005-10-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于计算机数值控制领域，特别涉及IC制造领域硅晶圆预对准的控制方法，包括：由硅晶圆的圆周采样、数据预处理、圆拟合和硅晶圆对心组成的硅晶圆定位方法；由缺口粗定位、缺口细采样、缺口拟合和将缺口中心旋转到指定的角度组成的缺口定位方法两部分。本发明可大大提高预对准精度。
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公开(公告)号：CN1787200A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200510116695.0
申请日：2005-10-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于计算机数值控制领域，特别涉及IC制造领域硅晶圆预对准的控制方法，包括：由硅晶圆的圆周采样、数据预处理、圆拟合和硅晶圆对心组成的硅晶圆定位方法；由缺口粗定位、缺口细采样、缺口拟合和将缺口中心旋转到指定的角度组成的缺口定位方法两部分。本发明可大大提高预对准精度。
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