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公开(公告)号：CN100437398C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200610011922.8
申请日：2006-05-17
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 , 清华大学
IPC: G05B19/02
Abstract: 本发明涉及自动控制领域，具体涉及半导体刻蚀工艺中的刻蚀机集群控制器。本发明提出一种刻蚀机集群控制器，包括将数据输入到控制器中的输入设备、存储数据的存储设备、显示监控状态的输出设备、执行控制信息的CPU、以及用于与刻蚀机相连接的传输设备，其中还包括工艺模块，该模块根据模块中存储的工艺流程所需的条件，对刻蚀机输出控制信息。采用本发明，可以实现对半导体刻蚀机的流程工艺的编辑、保存，以及载入现有的流程工艺条件等功能；还具有安全性管理、输入/输出的定制、日志管理、状态灯塔显示、工艺模块和通讯模块的参数设置等功能。
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公开(公告)号：CN1959569A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200610011922.8
申请日：2006-05-17
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 , 清华大学
IPC: G05B19/02
Abstract: 本发明涉及自动控制领域，具体涉及半导体刻蚀工艺中的刻蚀机集群控制器。本发明提出一种刻蚀机集群控制器，包括将数据输入到控制器中的输入设备、存储数据的存储设备、显示监控状态的输出设备、执行控制信息的CPU、以及用于与刻蚀机相连接的传输设备，其中还包括工艺模块，该模块根据模块中存储的工艺流程所需的条件，对刻蚀机输出控制信息。采用本发明，可以实现对半导体刻蚀机的流程工艺的编辑、保存，以及载入现有的流程工艺条件等功能；还具有安全性管理、输入/输出的定制、日志管理、状态灯塔显示、工艺模块和通讯模块的参数设置等功能。
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公开(公告)号：CN1424659A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN02159977.7
申请日：2002-12-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于计算机数值控制技术领域，涉及实现开放式“软”串行实时通讯系统的硬件接口卡，包括ISA总线接口电路、SERCOS协议微处理器及其外围电路以及总线缓冲电路、控制逻辑电路部分；地址总线上的信号经过控制逻辑电路后，选通SERCOS协议专用微处理器；由选通的处理器系统软件程序发送的读取控制参数，并处理成SERCOS协议报文，通过其外围电路传送给控制驱动的对象；并读取驱动控制对象反馈的周期性数据报文，由控制逻辑电路通过周期性的中断信号通知NC读取总线缓冲电路中的反馈数据，进行处理，完成一个周期的伺服循环。本发明使“软”SERCOS系统具有较高的开放性，可扩展性、可移植性、可定制性及互操作性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1432453A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN03104670.3
申请日：2003-02-21
Applicant: 清华大学
IPC: B25J13/00
Abstract: 本发明属于计算机应用技术领域，涉及开放式结构机器人控制器的电机控制方法。包括建立开放式机器人控制器的电机控制的(TOPN)模型；根据各个对象的时间约束条件，模型的整体时间约束条件，并将各个对象的时间约束条件转化成相对于整个模型被执行时的相对时间约束条件；构建TOPN模型的状态变化图，利用佩里特网的推导规则，将TOPN模型中所有的对象推导变换成时间佩里特网的形式；应用时间佩里特网的推理方法和定理来判断模型中对象行为的一致性，如果模型中对象行为是一致的，则使用该模型可以实现对于电机的正确控制。本发明可以提前发现电机控制中功能和性能上的不足，从而减小开放式机器人控制器系统的开发成本。
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公开(公告)号：CN1225689C
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN03100077.0
申请日：2003-01-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于计算机应用技术领域，涉及开放式结构机器人控制器。包括由工业控制计算机和开放式控制器系统的周边设备所组成的硬件部分，由开放源码的实时操作系统和开放式控制器应用软件系统组成的软件部分；所说的开放式控制器应用软件系统RTOC主要由三个运行层次组成；基础层是在各个特殊的设备驱动程序之上，抽象出设备无关的访问接口；中间层负责管理系统伺服周期的定义和运行；应用层为高层应用程序，通过简单的方式配置中间层，并监控系统状态；本发明可以用于对机器人的控制，也可以用于对其它运动控制系统的控制。具有可扩展性、可移植性、可定制性和互操作性四个方面的特征，并且大大降低了系统的成本。
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公开(公告)号：CN1225346C
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN03104670.3
申请日：2003-02-21
Applicant: 清华大学
IPC: B25J13/00
Abstract: 本发明属于计算机应用技术领域，涉及开放式结构机器人控制器的电机控制方法。包括建立开放式机器人控制器的电机控制的(TOPN)模型；根据各个对象的时间约束条件，模型的整体时间约束条件，并将各个对象的时间约束条件转化成相对于整个模型被执行时的相对时间约束条件；构建TOPN模型的状态变化图，利用佩里特网的推导规则，将TOPN模型中所有的对象推导变换成时间佩里特网的形式；应用时间佩里特网的推理方法和定理来判断模型中对象行为的一致性，如果模型中对象行为是一致的，则使用该模型可以实现对于电机的正确控制。本发明可以提前发现电机控制中功能和性能上的不足，从而减小开放式机器人控制器系统的开发成本。
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公开(公告)号：CN1216333C
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN02159977.7
申请日：2002-12-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于计算机数值控制技术领域，涉及实现开放式“软”串行实时通讯系统的硬件接口卡，包括ISA总线接口电路、SERCOS协议微处理器及其外围电路以及总线缓冲电路、控制逻辑电路部分；地址总线上的信号经过控制逻辑电路后，选通SERCOS协议专用微处理器；由选通的处理器系统软件程序发送的读取控制参数，并处理成SERCOS协议报文，通过其外围电路传送给控制驱动的对象；并读取驱动控制对象反馈的周期性数据报文，由控制逻辑电路通过周期性的中断信号通知NC读取总线缓冲电路中的反馈数据，进行处理，完成一个周期的伺服循环。本发明使“软”SERCOS系统具有较高的开放性，可扩展性、可移植性、可定制性及互操作性。
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公开(公告)号：CN1424649A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN03100077.0
申请日：2003-01-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于计算机应用技术领域，涉及开放式结构机器人控制器。包括由工业控制计算机和开放式控制器系统的周边设备所组成的硬件部分，由开放源码的实时操作系统和开放式控制器应用软件系统组成的软件部分；所说的开放式控制器应用软件系统RTOC主要由三个运行层次组成；基础层是在各个特殊的设备驱动程序之上，抽象出设备无关的访问接口；中间层负责管理系统伺服周期的定义和运行；应用层为高层应用程序，通过简单的方式配置中间层，并监控系统状态；本发明可以用于对机器人的控制，也可以用于对其它运动控制系统的控制。具有可扩展性、可移植性、可定制性和互操作性四个方面的特征，并且大大降低了系统的成本。
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