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1.

实用新型
扫描电镜电子背散射多功能样品台失效

公开(公告)号：CN205049496U

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201520820847.4

申请日：2015-10-21

Applicant: 北京交通大学

Inventor： 桂晓露 , 程骋 , 高古辉 , 白秉哲

IPC: G01N23/203

Abstract: 本实用新型公开一种扫描电镜电子背散射多功能样品台，包括：固定式样品台和第一卡槽；所述固定式样品台包括第一底盘、第一台面；所述第一台面设置在第一底盘的上表面，与水平面呈70°夹角；所述第一卡槽设置在第一底盘的下表面，所述第一卡槽与扫描电镜驱动马达上的卡槽尺寸匹配设置。本实用新型通过设置与水平面呈70°的第一台面替代现有的样品桩，实现了同时测量多个样品，大量节约高纯氮气；第一卡槽与扫描电镜驱动马达上的卡槽的匹配设置，使得测试稳定性高。

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