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公开(公告)号：CN117457467A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311743459.6
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。
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公开(公告)号：CN117969923A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410130851.1
申请日：2024-01-30
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01R19/00
Abstract: 本发明涉及电推进器羽流发散角测量装置，基于高精度的三维移动平台可以采用空间三维连续采集，通过增加多维度数据量提高数据可靠性。区别于当前单个传感器环形扫描或者多个传感器柱形扫描，单次只能实现一个轴向距离的数据采集，在需要多个轴向距离的采集数据和单次长时电推进实验中多有不便，造成数据缺失。本发明装置采用高频数据采集和高精度三维的移动平台，实现了空间三个维度的高密度采集，最大程度地满足测量数据多维度的测量需求，而极多的数据采集点和更高的采集频率使得采集的数据更为详实，极大提高测试结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN117420102B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311743458.1
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明属于航天等离子体推进领域，本发明公开了光学在线监测装置及发射体寿命快速评估方法。在空心阴极正常工作的状态下，对羽流出口区的主要侵蚀产物硼原子进行在线监测辨别，识别硼原子的发射谱线；采集阴极正常工作状态下工质气体氩的两条发射谱线；通过谱线比的方式确定等离子体中的电子温度Te；通过氩硼谱线比的方式确定硼原子的气相密度#imgabs0#；联合空心阴极内部的气体流速v和计算出的侵蚀产物硼原子的气相密度，对发射体的侵蚀速率进行计算，进而对发射体寿命进行预估。本发明针对以往长时间高昂贵的寿命评估实验大量耗费人力物力的问题。
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公开(公告)号：CN118555722A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410877284.6
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种结合光谱和红外成像的离子推力器推力状态在轨监测装置及方法，属于航天等离子体推进技术领域，离子推力器安装在人造卫上，红外相机和多光谱相机通过机械手与人造卫星相连，所述红外相机和多光谱相机可以通过机械手移动，以充分获取离子推力器栅极的温度信息和等离子体密度信息；首先使用红外相机和多光谱相机拍摄图像；根据得到的红外相机图像计算栅极温度；根据多光谱相机图像计算等离子密度；计算离子透明度和离子电流；最后计算并分析离子推力器的推力状态；本发明的方法对推力器本身无干扰，可以实现卫星的空间在轨使用，从而监测离子推力器推力状态的天地不一致性。
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公开(公告)号：CN117457467B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311743459.6
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117420102A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311743458.1
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明属于航天等离子体推进领域，本发明公开了光学在线监测装置及发射体寿命快速评估方法。在空心阴极正常工作的状态下，对羽流出口区的主要侵蚀产物硼原子进行在线监测辨别，识别硼原子的发射谱线；采集阴极正常工作状态下工质气体氩的两条发射谱线；通过谱线比的方式确定等离子体中的电子温度Te；通过氩硼谱线比的方式确定硼原子的气相密度；联合空心阴极内部的气体流速v和计算出的侵蚀产物硼原子的气相密度，对发射体的侵蚀速率进行计算，进而对发射体寿命进行预估。本发明针对以往长时间高昂贵的寿命评估实验大量耗费人力物力的问题。
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公开(公告)号：CN116222824A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310271436.3
申请日：2023-03-20
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明涉及一种高精度低温温度传感器校准装置及校准方法，所述装置包括：氦气瓶(1)、水冷机组(2)、GM制冷机(3)、恒温校准舱系统(4)和控制机柜(5)，氦气瓶(1)和恒温校准舱系统(4)连接，控制恒温校准舱系统(4)的温度场均匀性；水冷机组(2)和GM制冷机(3)连接，为GM制冷机(3)提供冷量；GM制冷机(3)和恒温校准舱系统(4)连接，控制恒温校准舱系统(4)内的温度；控制机柜(5)和恒温校准舱系统(4)连接，控制恒温校准舱系统(4)内的温度和压力参数；恒温校准舱系统(4)由上舱体和下舱体两部分组成。本发明的静态有效温度场均匀性可达10mK，并能同时校准多个不同规格的温度传感器。
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公开(公告)号：CN119000091A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410877304.X
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 霍尔推力器地面打火过程监测方法及装置，涉及空间飞行器设备监测技术领域。为解决现有技术中存在的，现有霍尔推力器打火过程监测方法，无法捕捉到打火过程中的细节和快速变化的技术问题，本发明提供的技术方案为：方法包括：采集真空罐内，霍尔推力器打火发生位置和空间演化规律；采集霍尔推力器打火时光束，将光束按预设波长范围进行分离，并分别采集不同波长的光强以及时间演化规律；采集霍尔推力器远场羽流的离子电流密度和束流发散角；根据打火发生位置和空间演化规律、不同波长的光强，以及离子电流密度和束流发散角，得到打火现象对等离子体参数的影响。可以应用于对霍尔推力器打火过程进行光电联合监测。
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公开(公告)号：CN118317497A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410128409.5
申请日：2024-01-30
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法，装置包括：真空罐体，其内部设有反应腔室；其两侧设有测量窗口；测量窗口包括沿真空罐体的中心轴线对称分布的探针测量窗口和光谱测量窗口；等离子体源，与反应腔室连通，用于产生标准等离子体；真空系统，与罐体内连通；探针检测装置和光谱检测装置，分别设置在同组的探针测量窗口和光谱测量窗口内；分析控制器，与探针检测装置和光谱检测装置电连接，用于根据探针检测装置和光谱检测装置的检测结果，对光谱检测装置进行校准。本发明通过探针检测装置与光谱检测装置对标准等离子体的同样位置进行测量，利用探针检测装置的测量结果对光谱检测装置进行校准，提高了光谱法测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN117794038A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410128411.2
申请日：2024-01-30
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于接触法的等离子体离子能量测量装置，包括壳体和支撑座，壳体内部设有前后两端敞口的筒状内腔，筒状内腔内设有屏蔽罩层和收集极以及在屏蔽罩层和收集极之间设有若干交叠设置的绝缘隔离板和栅网；屏蔽罩层上离子体进入孔与绝缘隔离板上绝缘通孔连通形成离子体阻滞腔，收集极上设有与离子体阻滞腔连通的第一通气孔；支撑座上设有接线孔，接线孔内设有电缆接头座，电缆接头座上设有与第一通气孔连通的第二通气孔。本发明，通过第一通气孔和第二通气孔将多余工质气体排出，避免离子体阻滞腔内压力过高影响收集极采集结果的准确性。
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