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公开(公告)号：CN110655867A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910540392.3
申请日：2019-06-21
Applicant: 凯斯科技股份有限公司
IPC: C09G1/02 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及一种抛光料浆组合物，更具体地，涉及一种包括胶体二氧化硅抛光粒子；金属氧化物单分子螯合剂；氧化剂；以及pH调节剂、水溶性聚合物或两者全部的抛光料浆组合物。
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