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公开(公告)号：CN107978506A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201711336133.6
申请日：2013-08-26
Applicant: 先进能源工业公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32091 , H01J37/32146 , H01J37/32422 , H01J37/32706
Abstract: 本发明涉及控制开关模式离子能量分布系统的方法。具体地，公开了用于调节等离子体室内的离子能量并且将衬底夹紧到衬底支撑部的系统、方法和设备。示范性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的定义的离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述定义的离子能量分布。
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公开(公告)号：CN104769707A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201380056048.8
申请日：2013-08-26
Applicant: 先进能源工业公司
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01J37/08 , G01N27/06 , H01J37/32944 , H01J37/3299
Abstract: 本发明公开了用于调节等离子体腔中的离子能量并且将衬底夹紧到衬底支撑件的系统、方法和设备。示例性方法包括：将衬底放置在等离子体腔中；在等离子体腔中形成等离子体；可控地切换至衬底的功率以向衬底施加周期性电压函数(或修正周期性电压函数)；以及响应于衬底表面的离子的限定的能量分布而在周期性电压函数的多个周期上调制周期性电压函数，以在时间平均的基础上实现限定的离子能量分布。
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公开(公告)号：CN103444268A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201280013790.6
申请日：2012-01-24
Applicant: 先进能源工业公司
CPC classification number: H01J37/32541 , H01J37/32091 , H01J37/32183 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32568 , H01J2237/327 , H05H1/46 , H05H2001/4675
Abstract: 本公开描述了用于向等离子体内电容耦合能量，从而点着并维持远程等离子体源内的等离子体的系统、方法和设备。通过至少部分包围第二电极或者至少部分被第二电极包围的第一电极提供所述功率。可以使所述第二电极接地或浮置。可以将所述第一和第二电介质部件布置为使所述电极之一或两者与所述等离子体隔开，由此使所述等离子体与所述电极之一或两者DC隔离。
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公开(公告)号：CN103890897A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280047162.X
申请日：2012-07-27
Applicant: 先进能源工业公司
IPC: H01J37/30 , H01J37/302 , H01J37/305 , H01L21/3065 , H01L21/02 , H05H1/24
CPC classification number: C23C16/50 , C23C14/345 , H01J37/32009 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/32935 , H01J37/3299
Abstract: 公开了用于调节等离子腔室中的离子能量并将基板吸附到基板的支座的系统、方法和装置。示例性方法包括，将基板设置在等离子腔室中，在等离子腔室中形成等离子体，向基板可控地通断功率以将周期电压函数施加到基板，以及响应于在基板表面的期望的离子能量分布而在周期电压函数的多个周期上调节周期电压函数，从而在时间平均的基础上实现期望的离子能量分布。
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公开(公告)号：CN102217045A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201080003206.X
申请日：2010-04-27
Applicant: 先进能源工业公司
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205 , C23C16/52 , H05H1/00
CPC classification number: H01J37/32045 , C23C14/54 , H01J37/32009 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/32935 , H01J37/3299
Abstract: 公开了用于调节等离子体室内的离子能量的系统、方法和设备。一种示范性系统包括离子能量控制部分，所述离子能量控制部分响应于至少一个指示轰击衬底的表面的离子的能量的预期分布的离子能量设置来提供至少一个离子能量控制信号。将控制器耦合至开关模式电源，所述控制器提供至少两个驱动控制信号。此外，将开关模式电源耦合至所述衬底支撑、离子能量控制部分和控制器。所述开关模式电源包括开关部件，所述开关部件被配置为响应于所述驱动信号和离子能量控制信号向衬底施加功率以实现轰击衬底的表面的离子的能量的预期分布。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104756238B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201380056068.5
申请日：2013-08-26
Applicant: 先进能源工业公司
IPC: H01L21/3065 , H05H1/24
CPC classification number: H01J37/32091 , H01J37/32146 , H01J37/32422 , H01J37/32706
Abstract: 公开了用于调节等离子体室内的离子能量并且将衬底夹紧到衬底支撑部的系统、方法和设备。示范性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的定义的离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述定义的离子能量分布。
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公开(公告)号：CN107396526A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710831581.7
申请日：2012-01-24
Applicant: 先进能源工业公司
CPC classification number: H01J37/32541 , H01J37/32091 , H01J37/32183 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32568 , H01J2237/327 , H05H1/46 , H05H2001/4675 , H05H1/03
Abstract: 本发明涉及一种静电远程等离子体源。本公开描述了用于向等离子体内电容耦合能量，从而点着并维持远程等离子体源内的等离子体的系统、方法和设备。通过至少部分包围第二电极或者至少部分被第二电极包围的第一电极提供所述功率。可以使所述第二电极接地或浮置。可以将所述第一和第二电介质部件布置为使所述电极之一或两者与所述等离子体隔开，由此使所述等离子体与所述电极之一或两者DC隔离。
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公开(公告)号：CN104782233A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201380056070.2
申请日：2013-08-26
Applicant: 先进能源工业公司
CPC classification number: H01J37/32146 , C23C14/54 , C23C16/52 , H01J37/32091 , H01J37/32422 , H01J37/32706
Abstract: 公开了用于调节等离子体室内的离子能量并且将衬底夹紧到衬底支撑部的系统、方法和设备。示范性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的定义的离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述定义的离子能量分布。
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公开(公告)号：CN107574416A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710704712.5
申请日：2011-08-11
Applicant: 先进能源工业公司
CPC classification number: H01J37/24 , C23C14/345 , C23C16/50 , H01J37/32009 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/32935 , H01J37/3299
Abstract: 公开了等离子室内的用于调节离子能量的系统、方法和装置。示例性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的期望离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述期望离子能量分布。
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公开(公告)号：CN103155717B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201180046783.1
申请日：2011-08-11
Applicant: 先进能源工业公司
IPC: H05H1/36 , C23C16/52 , H01L21/3065 , C23C14/54 , C23F1/08
CPC classification number: H01J37/24 , C23C14/345 , C23C16/50 , H01J37/32009 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/32935 , H01J37/3299
Abstract: 公开了等离子室内的用于调节离子能量的系统、方法和装置。示例性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的期望离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述期望离子能量分布。
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