公开(公告)号：CN104919189A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201280077979.1

申请日：2012-12-25

Applicant: 信越工程株式会社 ,  入江工研株式会社

Inventor： 大谷义和 ,  佐藤谦司 ,  源浩 ,  青木一成 ,  信安勇二

IPC: F15B15/10 ,  G02F1/13

CPC classification number: F15B15/10 ,  F15B15/149 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件的驱动器及粘附卡盘装置。本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部(11a、11a′)的多个金属波纹管(11、11′)作为伸缩部(10)，通过使金属波纹管(11、11′)伸缩变形，从而金属波纹管(11、11′)的蛇纹部(11a、11a′)将各自的内周端(11b、11b′)及外周端(11c、11c′)相互交替固定而伸缩部(10)整体全然不会向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向变形，因此可动件(40)经由遍及金属波纹管(11、11′)的一端而设置的升降部(20)在伸缩部(10)的中心空间(12)及底座部(30)的通孔(31)内向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向无径向振摆地往复移动。

公开(公告)号：CN104919189B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201280077979.1

申请日：2012-12-25

Applicant: 信越工程株式会社 ,  入江工研株式会社

Inventor： 大谷义和 ,  佐藤谦司 ,  源浩 ,  青木一成 ,  信安勇二

IPC: F15B15/10 ,  G02F1/13

CPC classification number: F15B15/10 ,  F15B15/149

Abstract: 本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件的驱动器及粘附卡盘装置。本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部(11a、11a′)的多个金属波纹管(11、11′)作为伸缩部(10)，通过使金属波纹管(11、11′)伸缩变形，从而金属波纹管(11、11′)的蛇纹部(11a、11a′)将各自的内周端(11b、11b′)及外周端(11c、11c′)相互交替固定而伸缩部(10)整体全然不会向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向变形，因此可动件(40)经由遍及金属波纹管(11、11′)的一端而设置的升降部(20)在伸缩部(10)的中心空间(12)及底座部(30)的通孔(31)内向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向无径向振摆地往复移动。