公开(公告)号：CN101861230A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200880116667.0

申请日：2008-11-17

Applicant: 信越半导体股份有限公司

Inventor： 北川幸司 ,  加藤忠弘 ,  糸井征夫 ,  须藤富一

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/045 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/0082

Abstract: 本发明是一种线锯，通过将切断用钢线卷绕在多个滚筒的周边上而形成钢线列，所述切断用钢线在轴方向被往复驱动，一边供给浆液至该切断用钢线，一边对于所述钢线列切入进给工件，由此将该工件同时在轴方向并列的多处切断，其特征在于：该线锯控制成为在所述工件切断后，在由所述钢线列拔出该工件时，一边使钢线以2m/min以下的速度行进，一边拔出工件。由此提供一种线锯，利用简单的结构，便不会对于通过线锯的钢线列切断的工件的切断面造成不良影响，而从所述钢线列拔出已经完成切断的工件。

公开(公告)号：CN101861230B

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN200880116667.0

申请日：2008-11-17

Applicant: 信越半导体股份有限公司

Inventor： 北川幸司 ,  加藤忠弘 ,  糸井征夫 ,  须藤富一

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04

CPC classification number: B28D5/045 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/0082

Abstract: 本发明是一种线锯，通过将切断用钢线卷绕在多个滚筒的周边上而形成钢线列，所述切断用钢线在轴方向被往复驱动，一边供给浆液至该切断用钢线，一边对于所述钢线列切入进给工件，由此将该工件同时在轴方向并列的多处切断，其特征在于：该线锯控制成为在所述工件切断后，在由所述钢线列拔出该工件时，一边使钢线以2m/min以下的速度行进，一边拔出工件。由此提供一种线锯，利用简单的结构，便不会对于通过线锯的钢线列切断的工件的切断面造成不良影响，而从所述钢线列拔出已经完成切断的工件。