公开(公告)号：CN102312189B

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：CN201110183672.7

申请日：2011-07-01

Applicant: 佳能株式会社 ,  株式会社日立显示器

Inventor： 浮贺谷信贵 ,  曾田岳彦 ,  荣田正孝 ,  宫田一史 ,  川口昌宏 ,  野田彰一

IPC: C23C14/04 ,  H01L21/68 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

CPC classification number: C23C14/12 ,  C03C17/002 ,  C23C14/042 ,  C23C14/54 ,  H01J2237/0216

Abstract: 本发明涉及成膜装置。提供能够减少可传送到对准机构的振动和变形并由此抑制在表面方向上的基板和掩模之间的不对准的成膜装置。所述成膜装置包括：成膜室；对准机构支撑部件；和设置在对准机构支撑部件上的对准机构，其中：对准机构支撑部件包含用于放置对准机构的支撑板、和腿部；支撑板被设置为借助于腿部与成膜室的顶板分开；并且，支撑板的至少一部分由能够将传送到支撑板的振动转换成热能而由此抑制振动的阻尼材料形成。

公开(公告)号：CN102312189A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201110183672.7

申请日：2011-07-01

Applicant: 佳能株式会社 ,  株式会社日立显示器

Inventor： 浮贺谷信贵 ,  曾田岳彦 ,  荣田正孝 ,  宫田一史 ,  川口昌宏 ,  野田彰一

IPC: C23C14/04 ,  H01L21/68 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

CPC classification number: C23C14/12 ,  C03C17/002 ,  C23C14/042 ,  C23C14/54 ,  H01J2237/0216

Abstract: 本发明涉及成膜装置。提供能够减少可传送到对准机构的振动和变形并由此抑制在表面方向上的基板和掩模之间的不对准的成膜装置。所述成膜装置包括：成膜室；对准机构支撑部件；和设置在对准机构支撑部件上的对准机构，其中：对准机构支撑部件包含用于放置对准机构的支撑板、和腿部；支撑板被设置为借助于腿部与成膜室的顶板分开；并且，支撑板的至少一部分由能够将传送到支撑板的振动转换成热能而由此抑制振动的阻尼材料形成。