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公开(公告)号：CN103226284A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310029991.1
申请日：2013-01-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B29C59/002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7042 , G03F9/7084 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种压印装置和制造物品的方法。压印装置在使在模具上形成的图案保持与压印材料接触的同时使压印材料硬化，由此将图案转印到压印材料上。该压印装置包括测量单元，该测量单元并行地执行对准测量和叠置测量，在所述对准测量中，测量要将图案转印到的基板上的压射区域与模具之间的相对位置，以使压射区域与模具对准，在所述叠置测量中，测量已使用模具在基板上的另一压射区域中形成的第一图案与第一图案下方的第二图案之间的相对位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1438546A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN03104107.8
申请日：2003-02-13
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 篠田健一郎
CPC classification number: G03F7/70308 , G03F7/70075 , G03F7/70091 , G03F7/70141 , G03F7/70183 , G03F7/70191
Abstract: 提供一种曝光装置，其特征在于具有：在被曝光体上曝光转印掩模上的图案的投影光学系统；在和上述投影光学系统的孔共轭的位置附近形成2次光源面、并照射上述掩模的照射光学系统；把从上述2次光源面至上述被曝光体的透过率分布以及上述2次光源面的光强度分布中的至少一方设置为不均匀的装置。
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公开(公告)号：CN104281003B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201410327893.0
申请日：2014-07-10
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 篠田健一郎
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F9/7065 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7069 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种压印装置以及物品的制造方法，所述压印装置通过使用模具将图案形成在基板上的压印材料上，所述压印装置包括：第一光学元件，其被置于照明光学系统和检测光学系统与模具之间，并且被构造为将来自所述照明光学系统的第一光和来自所述检测光学系统的第二光引导到所述模具；以及第二光学元件，其被置于所述第一光学元件与所述检测光学系统之间，并且被构造为透射由形成在所述模具上的标记或形成在所述基板上的标记反射、通过所述第一光学元件向所述检测光学系统行进的所述第二光，并遮断通过所述第一光学元件向所述检测光学系统行进的所述第一光。
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公开(公告)号：CN101241318A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200810083230.3
申请日：2003-02-13
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 篠田健一郎
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70308 , G03F7/70075 , G03F7/70091 , G03F7/70141 , G03F7/70183 , G03F7/70191
Abstract: 本发明提供一种曝光装置、曝光方法，以及使用该曝光装置和方法的器件制造方法。该曝光装置具有：在被曝光体上曝光转印掩模上的图案的投影光学系统；在和上述投影光学系统的孔共轭的位置附近形成2次光源面、并照射上述掩模的照射光学系统；把从上述2次光源面至上述被曝光体的透过率分布以及上述2次光源面的光强度分布中的至少一方设置为不均匀的装置。
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公开(公告)号：CN103226284B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201310029991.1
申请日：2013-01-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B29C59/002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7042 , G03F9/7084 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种压印装置和制造物品的方法。压印装置在使在模具上形成的图案保持与压印材料接触的同时使压印材料硬化，由此将图案转印到压印材料上。该压印装置包括测量单元，该测量单元并行地执行对准测量和叠置测量，在所述对准测量中，测量要将图案转印到的基板上的压射区域与模具之间的相对位置，以使压射区域与模具对准，在所述叠置测量中，测量已使用模具在基板上的另一压射区域中形成的第一图案与第一图案下方的第二图案之间的相对位置。
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公开(公告)号：CN104281003A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410327893.0
申请日：2014-07-10
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 篠田健一郎
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F9/7065 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7069 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种压印装置以及物品的制造方法，所述压印装置通过使用模具将图案形成在基板上的压印材料上，所述压印装置包括：第一光学元件，其被置于照明光学系统和检测光学系统与模具之间，并且被构造为将来自所述照明光学系统的第一光和来自所述检测光学系统的第二光引导到所述模具；以及第二光学元件，其被置于所述第一光学元件与所述检测光学系统之间，并且被构造为透射由形成在所述模具上的标记或形成在所述基板上的标记反射、通过所述第一光学元件向所述检测光学系统行进的所述第二光，并遮断通过所述第一光学元件向所述检测光学系统行进的所述第一光。
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