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公开(公告)号：CN108121171B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201711200016.7
申请日：2017-11-27
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及用于调整模板的位置的系统和方法。用于调整模板的相对位置的方法、系统和装置包括：确定第一模板的有效区域的相邻区域的表面的第一多个位置点，所述相邻区域的表面和有效区域的表面形成第一模板的连续表面；基于第一多个位置点识别第一模板的所述相邻区域的表面的平面；确定第二模板的有效区域的表面的第二多个位置点，第二模板的有效区域从第二模板的表面突出；基于第二多个位置点识别第二模板的有效区域的表面的平面；和基于识别的平面，调整第一模板和第二模板的相对位置。
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公开(公告)号：CN104730860B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201410804774.X
申请日：2014-12-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C59/026 , B29C59/002 , B29L2031/001 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供压印装置、异物去除方法及物品制造方法。该压印装置进行利用模具使基板上的压印材料成型并且在所述基板上形成图案的压印处理，该压印装置包括：基板卡盘，其被构造为保持所述基板；保护板，其被构造为围绕所述基板卡盘；以及抽吸机构，其被构造为对所述基板卡盘与所述保护板之间的间隙的至少一部分进行抽吸，其中，在所述抽吸机构对所述间隙的至少一部分进行抽吸时，所述基板卡盘保持与要形成所述图案的所述基板不同的板。
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公开(公告)号：CN108121171A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711200016.7
申请日：2017-11-27
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及用于调整模板的位置的系统和方法。用于调整模板的相对位置的方法、系统和装置包括：确定第一模板的有效区域的相邻区域的表面的第一多个位置点，所述相邻区域的表面和有效区域的表面形成第一模板的连续表面；基于第一多个位置点识别第一模板的所述相邻区域的表面的平面；确定第二模板的有效区域的表面的第二多个位置点，第二模板的有效区域从第二模板的表面突出；基于第二多个位置点识别第二模板的有效区域的表面的平面；和基于识别的平面，调整第一模板和第二模板的相对位置。
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公开(公告)号：CN104730860A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410804774.X
申请日：2014-12-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C59/026 , B29C59/002 , B29L2031/001 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供压印装置、异物去除方法及物品制造方法。该压印装置进行利用模具使基板上的压印材料成型并且在所述基板上形成图案的压印处理，该压印装置包括：基板卡盘，其被构造为保持所述基板；保护板，其被构造为围绕所述基板卡盘；以及抽吸机构，其被构造为对所述基板卡盘与所述保护板之间的间隙的至少一部分进行抽吸，其中，在所述抽吸机构对所述间隙的至少一部分进行抽吸时，所述基板卡盘保持与要形成所述图案的所述基板不同的板。
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