-
公开(公告)号：CN119689788A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411313464.8
申请日：2024-09-20
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 公开了处理装置及物品制造方法。一种处理装置对于基板执行预定处理。装置包括被配置为驱动保持基板的台的驱动器、被配置为以第一频率操作并且控制驱动器的第一控制器、被配置为以高于第一频率的第二频率操作并且基于台的位置来生成命令的第二控制器，以及被配置为响应于命令执行预定处理和预定处理的准备处理中的一个的设备。
Search Results
1
records
(took 0.013 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
