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公开(公告)号：CN117170191A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310621576.9
申请日：2023-05-30
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及曝光装置、曝光装置的控制方法以及物品制造方法，提供有利于同时达成重合精度以及生产率的曝光装置的基板载台驱动技术。具有基板卡盘、载台以及控制载台驱动的控制部，控制部通过并行地进行根据第1驱动数据配置朝扫描方向驱动载台的第1驱动和根据第2驱动数据配置朝非扫描方向驱动载台的第2驱动，进行在针对一个曝光单元区域扫描曝光前的载台的步进驱动。控制部确定第1驱动数据配置以及第2驱动数据配置，以便在并行地进行第1驱动和第2驱动时的载台的合成加速度不超过上限值，该上限值作为在载台与基板卡盘之间的锁定被解除的状态下不产生基板卡盘相对于载台的位置偏移的数值被预先确定。
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