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公开(公告)号：CN112068397A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010527360.2
申请日：2020-06-11
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及模拟方法和设备、存储介质、成膜方法、固化产品制造法。一种模拟方法，用于在使布置在第一构件上的可固化成分的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间空间中形成可固化成分的膜的处理中预测可固化成分的行为，其中，对于可固化成分的多个液滴中的每一个来说，根据第一构件与第二构件之间距离的变化，以使轮廓内部区域面积与从液滴体积和第一构件与第二构件之间距离获得的液滴面积一致的方式来获得从液滴代表点到液滴轮廓上的点的距离。
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公开(公告)号：CN105584030A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510760851.0
申请日：2015-11-10
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/3642 , B29C2043/3652
Abstract: 提供了一种压印方法，其通过形成在模具上的图案部分模制施加到基板的未固化的树脂并且固化未固化的树脂，以便形成固化在基板上的树脂的图案。压印方法包括从树脂释放图案部分的步骤，使得基于图案部分被从树脂剥离的边界是直线的假设，两条相对的边界相互靠近以使剥离进展同时在树脂固化之后保持平行状态。
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公开(公告)号：CN102645841B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210118450.1
申请日：2008-02-05
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B05C11/00 , B29C59/002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7023 , G03F9/703 , G03F9/7042
Abstract: 一种用于将设置在模具上的刻印图案刻印到形成在基片上的图案形成层上的刻印方法，所述方法由以下步骤构成，所述步骤为：第一个步骤，在所述第一个步骤中，借助反馈控制进行基片与模具之间的对准；第二个步骤，在所述第二个步骤中，使模具与图案形成层相互接触；第三个步骤，在所述第三个步骤中，将图案形成层固化；以及第四个步骤，在所述第四个步骤中，增大基片与模具之间的间隙。所述刻印方法还包括在第一个步骤与第二个步骤之间和/或在第二个步骤与第三个步骤之间将反馈控制停止的步骤。
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公开(公告)号：CN101427185B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200780013834.4
申请日：2007-04-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F9/00
Abstract: 在用于进行两个板状物之间的对准的对准方法中，将配置有第一对准标记的第一板状物和配置有第二对准标记的第二板状物相互相对放置。将第一区域和第二区域布置在通过图像拾取装置所观察的图像拾取区域中相互不重叠的位置处。从基本上与第一和第二板状物的平面内方向垂直的方向，通过图像拾取装置，拾取第一和第二对准标记的图像。通过使用第一对准标记相对于第一区域中的预定位置的偏移的第一信息和第二对准标记相对于第二区域中的预定位置的偏移的第二信息，来进行对准控制。
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公开(公告)号：CN102053490A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010539354.5
申请日：2007-04-18
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/00 , G03F9/703 , G03F9/7049 , G03F9/7088
Abstract: 本发明涉及一种压印设备，其执行印模和基片之间的对准并将印模的图案压印到基片的层上，该压印设备包括：支撑部，被配置为支撑印模；工作台，被配置为与支撑部支撑的印模相对地支撑基片；和显微镜，包含图像拾取装置，显微镜被配置为经由图像拾取装置的第一图像拾取区域检测具有第一周期性结构并且形成在印模中的第一对准标记，以及经由图像拾取装置的第二图像拾取区域检测具有第二周期性结构并且形成在印模中的第二对准标记，第一和第二图像拾取区域彼此不重叠，其中，压印设备被配置为使得通过将经由第一图像拾取区域检测到的第一对准标记的基频分量与经由第二图像拾取区域检测到的第二对准标记的基频分量数值相乘而获得莫尔条纹的相位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100552916C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200610164091.8
申请日：2006-12-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/768 , H01L21/311
Abstract: 提供一种用于制造半导体器件的方法，其中很容易控制布线沟槽和通孔在深度方向上的长度。在衬底上制备具有第一绝缘膜的部件，并在上述第一绝缘膜上设置一层。在上述的层上压印具有图形的模型，以便形成具有布线沟槽和第一通孔的第二绝缘膜，该图形对应于布线沟槽和第一通孔。之后，通过使用上述的第二绝缘膜作为掩模蚀刻上述的第一绝缘膜，以便在第一绝缘膜中形成连接到第一通孔的第二通孔。
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公开(公告)号：CN1928711A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610128187.9
申请日：2006-09-06
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及一种模具，它既使在可光固化的树脂材料设置于模具与待处理的部件之间的状态下也能够高精度地实现模具和待处理的部件的校准，该模具通过一个由第一材料形成的基板(2010)和一个由不同于第一材料的第二材料形成的校准标记(2102)构成。第一材料和第二材料具有对于在一部分紫外线波长范围内的光线的透射性。第二材料具有不小于1.7的折射率。
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公开(公告)号：CN113366613B
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202080011703.8
申请日：2020-01-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , G06F30/10
Abstract: 公开了一种预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件彼此接触并在第一构件上形成可固化组合物的膜的过程中可固化组合物的行为的模拟方法。该方法包括定义由多个计算元素形成的计算网格，使得可固化组合物的多个液滴落在一个计算元素内，以及根据与每个计算元素中的可固化组合物的状态对应的模型来获得每个计算元素中的可固化组合物的行为。
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公开(公告)号：CN111758147A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201980014611.2
申请日：2019-02-08
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 关淳一
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 该压印方法包括执行用于在基板的压射区域上的压印材料与模具的图案部彼此接触的状态下固化压印材料的压印处理。该压印方法包括调整步骤，在该调整步骤中，根据指示在上述状态下的图案部的厚度方向上的压射区域和图案部中的至少一个的表面的形状的形状信息，压射区域在与厚度方向正交的平面方向上的畸变和图案部在平面方向上的畸变中的至少一个被调整。
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公开(公告)号：CN102053490B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201010539354.5
申请日：2007-04-18
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/00 , G03F9/703 , G03F9/7049 , G03F9/7088
Abstract: 本发明涉及一种压印设备，其执行印模和基片之间的对准并将印模的图案压印到基片的层上，该压印设备包括：支撑部，被配置为支撑印模；工作台，被配置为与支撑部支撑的印模相对地支撑基片；和显微镜，包含图像拾取装置，显微镜被配置为经由图像拾取装置的第一图像拾取区域检测具有第一周期性结构并且形成在印模中的第一对准标记，以及经由图像拾取装置的第二图像拾取区域检测具有第二周期性结构并且形成在印模中的第二对准标记，第一和第二图像拾取区域彼此不重叠，其中，压印设备被配置为使得通过将经由第一图像拾取区域检测到的第一对准标记的基频分量与经由第二图像拾取区域检测到的第二对准标记的基频分量数值相乘而获得莫尔条纹的相位。
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