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公开(公告)号：CN106065464A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610245080.6
申请日：2016-04-19
CPC classification number: C23C14/54 , C03C17/245 , C03C2217/213 , C03C2218/154 , C23C14/0042 , C23C14/352 , C23C14/56 , H01J37/32449 , H01J37/32972 , H01J37/3299 , H01J37/3405 , H01J37/342 , C23C14/35 , C23C14/0036 , C23C14/3407 , C23C14/543
Abstract: 本公开内容涉及膜沉积装置和膜沉积方法。膜沉积装置包括：真空室；圆柱靶，该靶的圆周面与基板相对，并且该靶在真空室中被设置为与基板的传送方向相交；驱动单元，其被配置为旋转地驱动靶；磁场产生器，其设置在靶的内侧；反应性气体流出单元，其被配置为流出反应性气体，该反应性气体流出单元设置在靶的附近；光发射监视器，其被配置为监视在基板和靶之间的位置处且在靶附近的等离子体的光发射强度；以及控制单元，其被配置为控制由驱动单元驱动的靶的旋转速度，以使得由光发射监视器监视的光发射强度接近预设的目标光发射强度。
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公开(公告)号：CN102105107B
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN200980129082.7
申请日：2009-07-24
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01S7/52036 , A61B8/0825 , A61B8/0833 , G01S7/52073 , G01S15/8977
Abstract: 一种信号处理装置将声波束扫描到被检体中，获取多个扫描线的接收波形数据，并且执行信号处理，以便从多个扫描线的接收波形数据形成所述被检体的断层图像。该信号处理装置包括扫描线相关计算部分(009)和相关改变位置提取部分(010)，所述扫描线相关计算部分(009)对于扫描线上的多个位置计算第一扫描线和与第一扫描线具有规定的关系的第二扫描线之间的接收波形数据的相关值；所述相关改变位置提取部分(010)从所述扫描线上的多个位置中提取相关值变为与规定值不同的值的位置作为可能存在独特区域的位置。
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公开(公告)号：CN104116521B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410169720.0
申请日：2014-04-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: G01N29/24 , B06B1/0292 , B06B1/0629 , G01N2291/044 , G01S7/52047 , G01S15/8977 , G10K11/348
Abstract: 一种被检体信息获取装置及其控制方法。所采用的被检体信息获取装置包括：探测器，包括多个转换元件，其将声学波发送到被检体，并且将反射波转换为时间序列接收信号；以及处理器，使用从所述多个转换元件输出的多个接收信号以及基准信号通过应用自适应信号处理来执行频域干涉法，并且获得多个位置的声学属性。所述探测器被配置为使得：当布置所述多个转换元件的方向是第一方向和第二方向时，第二方向上的端部具有比在第二方向上的中间部分低的声学波的发送声压。
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公开(公告)号：CN104995530A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201480008594.9
申请日：2014-01-29
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: A61B8/5207 , A61B8/06 , A61B8/08 , A61B8/4494 , A61B8/486 , A61B8/5223 , G01S7/52046 , G01S15/8915 , G01S15/8981 , G10K11/341
Abstract: 由于存在不希望的反射波，在测量对象的移动速度检测中可能产生误差。提供一种被检体信息获取装置，包括：被配置为向被检体发送声波脉冲、接收从被检体中的多个位置反射的反射波并且将反射波分别转换成时序接收信号的多个换能器以及被配置为通过使用从所述多个换能器输出的多个接收信号获取对象的移动信息的处理单元。处理单元通过使用所述多个接收信号提取分别表示移动分量的多个信号，通过使用分别表示移动分量的所述多个信号执行自适应信号处理并且通过使用由自适应信号处理获得的多个输出信号获取对象的移动信息。
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公开(公告)号：CN103932734A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410023643.8
申请日：2014-01-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: A61B8/54 , A61B8/0891 , A61B8/14 , A61B8/5207 , G01S7/52047 , G01S15/8915
Abstract: 本发明涉及被检体信息获取装置及其控制方法。提供一种被检体信息获取装置，所述被检体信息获取装置包括：向被检体发送并从被检体接收声波并将其转换成多个接收信号的元件；获取被检体内部的功率强度信号的处理器；和校正功率强度信号的校正器，所述处理器被配置为计算频率分量的相关值、对作为多个计算的相关值的集合的相关矩阵执行频率平均处理以获取第一功率强度信号、并且减小相关矩阵的对角方向上的元素的差异以获取第二功率强度信号，并且，所述校正器被配置为输出经过了校正处理的功率强度信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103917890A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201280054561.9
申请日：2012-10-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01S15/89
CPC classification number: G01S15/8984 , A61B8/06 , A61B8/488 , G01S15/8977
Abstract: 本发明的被检体信息获取装置包括：向被检体(000)传送弹性波并接收在被检体(000)内的各位置处反射的反射波的包含多个转换元件(002)的传送/接收单元(003、005)；通过使用从所述转换元件(002)输出的多个接收信号获取与来自被检体(000)内的各位置的反射波对应的多个信号作为扫描线信号的扫描线信号获取单元(006)；以及，通过使用多个扫描线信号获取对象物的移动信息的处理单元(007、008)。处理单元(007、008)通过使用不同位置的扫描线信号之间的多个相互相关值，基于由包含时间差轴和距离差轴的两个轴代表的平面上的相互相关值的分布，来获取对象物的移动信息。
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公开(公告)号：CN106824731A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710112853.8
申请日：2014-04-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 一种被检体信息获取装置及其控制方法。所采用的被检体信息获取装置包括：探测器，包括多个转换元件，其将声学波发送到被检体，并且将反射波转换为时间序列接收信号；以及处理器，使用从所述多个转换元件输出的多个接收信号以及基准信号通过应用自适应信号处理来执行频域干涉法，并且获得多个位置的声学属性。所述探测器被配置为使得：当布置所述多个转换元件的方向是第一方向和第二方向时，第二方向上的端部具有比在第二方向上的中间部分低的声学波的发送声压。
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公开(公告)号：CN103917890B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201280054561.9
申请日：2012-10-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01S15/89
CPC classification number: G01S15/8984 , A61B8/06 , A61B8/488 , G01S15/8977
Abstract: 本发明的被检体信息获取装置包括：向被检体(000)传送弹性波并接收在被检体(000)内的各位置处反射的反射波的包含多个转换元件(002)的传送/接收单元(003、005)；通过使用从所述转换元件(002)输出的多个接收信号获取与来自被检体(000)内的各位置的反射波对应的多个信号作为扫描线信号的扫描线信号获取单元(006)；以及，通过使用多个扫描线信号获取对象物的移动信息的处理单元(007、008)。处理单元(007、008)通过使用不同位置的扫描线信号之间的多个相互相关值，基于由包含时间差轴和距离差轴的两个轴代表的平面上的相互相关值的分布，来获取对象物的移动信息。
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公开(公告)号：CN103932734B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201410023643.8
申请日：2014-01-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: A61B8/54 , A61B8/0891 , A61B8/14 , A61B8/5207 , G01S7/52047 , G01S15/8915
Abstract: 本发明涉及被检体信息获取装置及其控制方法。提供一种被检体信息获取装置，所述被检体信息获取装置包括：向被检体发送并从被检体接收声波并将其转换成多个接收信号的元件；获取被检体内部的功率强度信号的处理器；和校正功率强度信号的校正器，所述处理器被配置为计算频率分量的相关值、对作为多个计算的相关值的集合的相关矩阵执行频率平均处理以获取第一功率强度信号、并且减小相关矩阵的对角方向上的元素的差异以获取第二功率强度信号，并且，所述校正器被配置为输出经过了校正处理的功率强度信号。
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公开(公告)号：CN104116521A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201410169720.0
申请日：2014-04-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: G01N29/24 , B06B1/0292 , B06B1/0629 , G01N2291/044 , G01S7/52047 , G01S15/8977 , G10K11/348
Abstract: 一种被检体信息获取装置及其控制方法。所采用的被检体信息获取装置包括：探测器，包括多个转换元件，其将声学波发送到被检体，并且将反射波转换为时间序列接收信号；以及处理器，使用从所述多个转换元件输出的多个接收信号以及基准信号通过应用自适应信号处理来执行频域干涉法，并且获得多个位置的声学属性。所述探测器被配置为使得：当布置所述多个转换元件的方向是第一方向和第二方向时，第二方向上的端部具有比在第二方向上的中间部分低的声学波的发送声压。
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