公开(公告)号：CN107003615A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580064782.8

申请日：2015-11-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 佐佐木康人 ,  关美津留 ,  中岛猛

IPC: G03F7/20 ,  G02B5/08 ,  G02B17/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/702 ,  G02B17/0605 ,  G02B17/0615 ,  G03B21/28 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/709

Abstract: 提供一种将物体的图像投影到像面上的投影光学系统。投影光学系统包括：包含第一凹面镜、凸面镜和第二凹面镜的成像光学系统；具有各自重新引导光路的第一反射表面和第二反射表面的光学部件；和支撑凸面镜的支撑部件。第一反射表面、第一凹面镜、凸面镜、第二凹面镜和第二反射表面在来自物面的光的行进方向上按顺序被设置。光学部件具有在面向凸面镜的一侧具有开口的通孔。支撑部件延伸贯穿通孔并且从开口延伸到凸面镜。

公开(公告)号：CN118584757A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410232395.1

申请日：2024-03-01

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 佐佐木康人

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/00 ,  G01M13/04 ,  G01H17/00

Abstract: 本发明提供驱动装置、光刻装置、物品制造方法、处理器、计算机可读存储介质及检测方法。驱动装置具备：直动轴承引导件；移动体，由所述直动轴承引导件引导；驱动部，驱动所述移动体；以及检测部，检测所述直动轴承引导件的磨损，所述驱动部包括与所述移动体一起移动的第一部件和对所述第一部件施加力的第二部件，所述检测部基于由所述第一部件和所述第二部件的间隙的变化引起的振动，检测所述直动轴承引导件的磨损。

公开(公告)号：CN107003615B

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201580064782.8

申请日：2015-11-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 佐佐木康人 ,  关美津留 ,  中岛猛

IPC: G03F7/20 ,  G02B5/08 ,  G02B17/00 ,  H01L21/027

Abstract: 提供一种将物体的图像投影到像面上的投影光学系统。投影光学系统包括：包含第一凹面镜、凸面镜和第二凹面镜的成像光学系统；具有各自重新引导光路的第一反射表面和第二反射表面的光学部件；和支撑凸面镜的支撑部件。第一反射表面、第一凹面镜、凸面镜、第二凹面镜和第二反射表面在来自物面的光的行进方向上按顺序被设置。光学部件具有在面向凸面镜的一侧具有开口的通孔。支撑部件延伸贯穿通孔并且从开口延伸到凸面镜。