公开(公告)号：CN1030722C

公开(公告)日：1996-01-17

申请号：CN90103311.1

申请日：1990-06-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松山深照 ,  狩谷俊光 ,  藤岡靖 ,  武井哲也 ,  中川克巳 ,  金井正博 ,  越前裕

IPC: C23C16/48 ,  C23C16/24

CPC classification number: H01L31/076 ,  C23C16/511 ,  C23C16/545 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32229 ,  H01J37/3277 ,  H01L21/02425 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02505 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L29/872 ,  H01L31/202 ,  H01L31/204 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 微波等离子CVD方法用以连续地形成大面积的长的功能性淀积膜，包括：使一衬底腹板从释放机构到卷收机构在纵向连续地运动；在运动中将衬底腹板弯曲和突出形成一圆柱形部分作为膜生成腔的圆周墙；将原料气体由供气装置引入到上述膜生成腔内；同时利用微波施加器装置将微波能量辐射到上述膜生成腔内，以在上述的膜生成腔内产生微波等离子，借此在暴露在上述微波等离子中的上述连续运动的圆周墙的内墙表面上形成淀积膜。

公开(公告)号：CN1048568A

公开(公告)日：1991-01-16

申请号：CN90103311.1

申请日：1990-06-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松山深照 ,  狩谷俊光 ,  藤岡靖 ,  武井哲也 ,  中川克巳 ,  金井正博 ,  越前裕

IPC: C23C16/48 ,  C23C16/24

CPC classification number: H01L31/076 ,  C23C16/511 ,  C23C16/545 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32229 ,  H01J37/3277 ,  H01L21/02425 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02505 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L29/872 ,  H01L31/202 ,  H01L31/204 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 微波等离子CVD方法用以连续地形成大面积的长的功能性淀积膜，包括：使一衬底腹板从释放机构到卷收机构在纵向连续地运动；在运动中将衬底腹板弯曲和突出形成一圆柱形部分作为膜生成腔的圆周墙；将原料气体由供气装置引入到上述膜生成腔内；同时利用微波施加器装置将微波能量辐射到上述膜生成腔内，以在上述的膜生成腔内产生微波等离子，借此在暴露在上述微波等离子中的上述连续运动的圆周墙的内墙表面上形成淀积膜。