一氧化硅蒸镀材料及其制造方法、制造原料和制造装置

    公开(公告)号:CN1451057A

    公开(公告)日:2003-10-22

    申请号:CN01815020.9

    申请日:2001-08-30

    CPC classification number: C23C14/243 C01B33/113 C23C14/10 C23C14/24

    Abstract: 本发明涉及以下高纯度一氧化硅蒸镀材料、其制造方法、以及制造原料等。(1)高纯度一氧化硅蒸镀材料,在形成蒸镀膜时可以抑制飞溅现象,且平均体积密度为2.0g/cm3、维氏硬度为500以上。(2)高纯度一氧化硅蒸镀材料的制造方法,在原料室中比一氧化硅升华温度低的温度下进行脱气处理之后,实施升温而使一氧化硅升华,蒸镀到沉积室的沉积衬底上形成高纯度一氧化硅蒸镀材料,其金属不纯物的总量为50ppm以下。(3)所述的一氧化硅蒸镀材料的制造原料,其中金属硅粉与二氧化硅粉的平均粒度同时为1~40μm和/或摩尔混合比SiO/Si为0.90~0.99。

    SiO蒸镀材料、SiO原料用Si粉末及SiO的制造方法

    公开(公告)号:CN101014534A

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200580029459.3

    申请日:2005-08-09

    CPC classification number: C01B33/113 C23C14/10

    Abstract: 一种SiO或SiO蒸镀材料,其特征在于氢气含量在120ppm以上,或者一种SiO蒸镀材料,其特征在于,氢气含量在150ppm以上,在向基质蒸镀SiO时,可以加快成膜速度,可以有效地形成SiO蒸镀膜。通过使这些原料用Si粉末的氢气含量在30ppm以上,在制造SiO时,可以加快升华速度,可以以低成本且高效率地制造。这样,本发明的SiO制造方法可以作为食品、医疗用品和医药品等具有透明性的同时还具有阻隔性的包装材料的蒸镀材料或具有SiO蒸镀膜的锂电池用电极材料的蒸镀材料的制造方法广泛使用。

    SiO蒸镀材料、原料用Si粉末及SiO蒸镀材料的制造方法

    公开(公告)号:CN101010444A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200580029460.6

    申请日:2005-08-09

    CPC classification number: C01B33/113 C23C14/10

    Abstract: 本发明提供一种SiO蒸镀材料,其特征在于氢气含量在50ppm以下,在向基质蒸镀SiO时,可以抑制飞溅的发生,可以形成透明性和阻隔性出色的SiO蒸镀膜。通过脱气处理使这些原料用Si粉末的氢气含量在10ppm以下,可以以低成本且高效率地制造氢气含量在50ppm以下的SiO蒸镀材料。这样,本发明的SiO制造方法可以作为医疗用品和医药品等具有透明性的同时还具有阻隔性的包装材料的蒸镀材料的制造方法广泛使用。

    一氧化硅蒸镀材料及其制造方法、制造原料和制造装置

    公开(公告)号:CN1317420C

    公开(公告)日:2007-05-23

    申请号:CN01815020.9

    申请日:2001-08-30

    CPC classification number: C23C14/243 C01B33/113 C23C14/10 C23C14/24

    Abstract: 本发明涉及以下高纯度一氧化硅蒸镀材料、其制造方法、以及制造原料等。(1)高纯度一氧化硅蒸镀材料,在形成蒸镀膜时可以抑制飞溅现象,且平均体积密度为2.0g/cm3、维氏硬度为500以上。(2)高纯度一氧化硅蒸镀材料的制造方法,在原料室中比一氧化硅升华温度低的温度下进行脱气处理之后,实施升温而使一氧化硅升华,蒸镀到沉积室的沉积衬底上形成高纯度一氧化硅蒸镀材料,其金属不纯物的总量为50ppm以下。(3)所述的一氧化硅蒸镀材料的制造原料,其中金属硅粉与二氧化硅粉的平均粒度同时为1~40μm和/或摩尔混合比SiO/Si为0.90~0.99。

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