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公开(公告)号：CN111670606A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201880078400.0
申请日：2018-12-06
Abstract: 一实施方式的有机电子器件的制造方法包括：器件基材形成工序，形成在基板上依次设置有第一电极、包含有机层的器件功能部、以及第二电极的器件基材；脱水工序(S22)，一边输送在密封构件上经由粘接层而层叠有保护膜的带保护膜的密封构件(10)一边进行加热脱水，该密封构件具有密封基材、层叠于密封基材的一面的粘接层、以及层叠于密封基材的另一面的树脂层；以及密封构件贴合工序，从经过了脱水工序的带保护膜的密封构件剥离保护膜，经由粘接层将密封构件贴合于器件基材，在脱水工序中，被输送的带保护膜的密封构件所接触的辊(R1)的辊表面的温度为树脂层的玻璃化转变温度以上。
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公开(公告)号：CN112746243A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011083536.6
申请日：2020-10-12
Applicant: 日立造船株式会社
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置的控制方法。真空蒸镀装置(1)的控制方法包括：打开量调整工序，对调整蒸镀材料的释放量的第一调整阀(21)和第二调整阀(31)的打开量进行调整；以及压力检测工序，取得蒸镀材料的释放压力的检测值，在打开量调整工序中，在第一调整阀(21)和第二调整阀(31)的双方打开的情况下，使用膜厚检测器对膜厚的检测值来调整打开量，在仅任意一方打开的情况下，使用释放压力的检测值来调整打开量。
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公开(公告)号：CN103361607A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310092816.7
申请日：2013-03-21
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供真空蒸镀装置和真空蒸镀装置的坩锅更换方法。当更换第二坩锅(12B)时，利用第二闸阀(35B)关闭第二输送管(14B)，并将第二蒸发装置(13B)的坩锅收容件(31B)从第二输送管(14B)取下，来更换第二坩锅(12B)。此时，大气流入第二蒸发装置(13B)内和第二输送管(14B)内。但是，在将坩锅收容件(31B)安装于第二输送管(14B)之后，打开第二除气阀(33B)来进行除气而成为规定的真空条件，从而当打开第二闸阀(35B)开始进行蒸镀时，大气不会进入真空蒸镀容器(10)内，不需要伴随大气的进入而对真空蒸镀容器(10)内进行除气。因此，可以使第一、第二蒸发装置(13A、13B)结构简单，并且可以在大气中进行第一、第二坩锅(12A、12B)的更换作业，从而可以提高作业性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103361607B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310092816.7
申请日：2013-03-21
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供真空蒸镀装置和真空蒸镀装置的坩锅更换方法。当更换第二坩锅(12B)时，利用第二闸阀(35B)关闭第二输送管(14B)，并将第二蒸发装置(13B)的坩锅收容件(31B)从第二输送管(14B)取下，来更换第二坩锅(12B)。此时，大气流入第二蒸发装置(13B)内和第二输送管(14B)内。但是，在将坩锅收容件(31B)安装于第二输送管(14B)之后，打开第二除气阀(33B)来进行除气而成为规定的真空条件，从而当打开第二闸阀(35B)开始进行蒸镀时，大气不会进入真空蒸镀容器(10)内，不需要伴随大气的进入而对真空蒸镀容器(10)内进行除气。因此，可以使第一、第二蒸发装置(13A、13B)结构简单，并且可以在大气中进行第一、第二坩锅(12A、12B)的更换作业，从而可以提高作业性。
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公开(公告)号：CN103924195A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201310721942.4
申请日：2013-12-24
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置，在真空下对基板（K）进行蒸镀，其包括：多个坩埚（2），分别使蒸镀材料（A）蒸发而成为蒸发材料；阀（51），与上述坩埚（2）的下游侧连接；扩散容器（21），从上述阀（51）通过导入管（11）导入蒸发材料并使导入的蒸发材料扩散；以及多个喷嘴（25），将在所述扩散容器的内部（22）扩散的蒸发材料朝向基板（K）释放，其中，全部的所述导入管（11）不具有分路部，蒸镀速率为0.1～10/sec，扩散容器的内部空间厚度（D）为1m以下且喷嘴间最大距离（L）为5m以下，并且扩散容器的内部空间厚度（D）与喷嘴间最大距离（L）的关系，满足规定的公式（1）～（3）中的任意一个。
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公开(公告)号：CN105316625B
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201510245745.9
申请日：2015-05-14
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置。材料供给装置(3)向用于在基板(K)上形成薄膜的蒸镀用容器(1)内供给蒸镀材料，材料供给装置(3)包括：材料填充容器(11)，填充有蒸镀材料；材料引导管道(12)，利用从气体供给装置(14)供给的不活泼气体，将蒸镀材料从材料填充容器(11)向蒸镀用容器(1)内引导；加热器(17)，加热所述材料引导管道(12)以使蒸镀材料气化；以及振动赋予器(13)，对材料填充容器(11)赋予振动。
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公开(公告)号：CN105316625A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510245745.9
申请日：2015-05-14
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置。材料供给装置(3)向用于在基板(K)上形成薄膜的蒸镀用容器(1)内供给蒸镀材料，材料供给装置(3)包括：材料填充容器(11)，填充有蒸镀材料；材料引导管道(12)，利用从气体供给装置(14)供给的不活泼气体，将蒸镀材料从材料填充容器(11)向蒸镀用容器(1)内引导；加热器(17)，加热所述材料引导管道(12)以使蒸镀材料气化；以及振动赋予器(13)，对材料填充容器(11)赋予振动。
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公开(公告)号：CN203768445U
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201320858786.1
申请日：2013-12-24
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本实用新型提供一种真空蒸镀装置，在真空下对基板（K）进行蒸镀，其包括：多个坩埚（2），分别使蒸镀材料（A）蒸发而成为蒸发材料；阀（51），与上述坩埚（2）的下游侧连接；扩散容器（21），从上述阀（51）通过导入管（11）导入蒸发材料并使导入的蒸发材料扩散；以及多个喷嘴（25），将在所述扩散容器的内部（22）扩散的蒸发材料朝向基板（K）释放，其中，全部的所述导入管（11）不具有分路部，蒸镀速率为扩散容器的内部空间厚度（D）为1m以下且喷嘴间最大距离（L）为5m以下，并且扩散容器的内部空间厚度（D）与喷嘴间最大距离（L）的关系，满足规定的公式（1）～（3）中的任意一个。
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