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公开(公告)号：CN108977790A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810473208.3
申请日：2018-05-17
Applicant: 日立造船株式会社
Abstract: 本发明提供监视装置、监视方法和计算机可读存储介质。所述监视装置(1)包括：拍摄部(11)，将炉膛内衬(24)作为拍摄对象，进行多次拍摄；图像选择部(16)，从拍摄部拍摄的多个图像之中，选择与基准图像最相关的图像作为分析对象图像；以及状态判定部(17)，通过分析图像选择部选择的分析对象图像，来判定蒸镀装置(2)的状态。利用这种结构，可以高精度地判定蒸镀装置的状态。
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公开(公告)号：CN108977790B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201810473208.3
申请日：2018-05-17
Applicant: 日立造船株式会社
Abstract: 本发明提供监视装置、监视方法和计算机可读存储介质。所述监视装置(1)包括：拍摄部(11)，将炉膛内衬(24)作为拍摄对象，进行多次拍摄；图像选择部(16)，从拍摄部拍摄的多个图像之中，选择与基准图像最相关的图像作为分析对象图像；以及状态判定部(17)，通过分析图像选择部选择的分析对象图像，来判定蒸镀装置(2)的状态。利用这种结构，可以高精度地判定蒸镀装置的状态。
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公开(公告)号：CN105316625B
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201510245745.9
申请日：2015-05-14
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置。材料供给装置(3)向用于在基板(K)上形成薄膜的蒸镀用容器(1)内供给蒸镀材料，材料供给装置(3)包括：材料填充容器(11)，填充有蒸镀材料；材料引导管道(12)，利用从气体供给装置(14)供给的不活泼气体，将蒸镀材料从材料填充容器(11)向蒸镀用容器(1)内引导；加热器(17)，加热所述材料引导管道(12)以使蒸镀材料气化；以及振动赋予器(13)，对材料填充容器(11)赋予振动。
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公开(公告)号：CN105316625A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510245745.9
申请日：2015-05-14
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置。材料供给装置(3)向用于在基板(K)上形成薄膜的蒸镀用容器(1)内供给蒸镀材料，材料供给装置(3)包括：材料填充容器(11)，填充有蒸镀材料；材料引导管道(12)，利用从气体供给装置(14)供给的不活泼气体，将蒸镀材料从材料填充容器(11)向蒸镀用容器(1)内引导；加热器(17)，加热所述材料引导管道(12)以使蒸镀材料气化；以及振动赋予器(13)，对材料填充容器(11)赋予振动。
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