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公开(公告)号：CN105934533A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201580005170.1
申请日：2015-01-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C14/34 , H01L21/285
CPC classification number: H01J37/3423 , C23C14/3407 , H01J37/3414 , H01J37/3426 , H01J2237/332
Abstract: 本发明的目的在于实现溅射靶的长寿命化与在此期间形成在基板上的薄膜的膜厚均匀性的兼顾，并提供一种溅射靶，其为包含靶材的溅射靶，其特征在于，所述靶材在其溅射面具有位于中央的圆形的平坦的第一区域和在所述第一区域的外侧与所述第一区域呈同心圆状地配置的环状的第二区域，所述第一区域配置在比所述第二区域以最大计低所述第二区域的厚度的15％的位置，所述第一区域的直径为所述溅射面的外周的直径的60％～80％。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN108350565A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201780003731.3
申请日：2017-07-10
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 泷川干雄
IPC: C23C14/34
CPC classification number: H01J37/3417 , C23C14/34
Abstract: 溅射靶的制造方法，其包括下述工序：嵌入工序，以在背板材的框部的高度方向上、靶材的最上方位置高于背板材的框部的最上方位置的方式，将靶材嵌入至背板材的框部的内侧；以及接合工序，将靶材扩散接合于背板材。
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公开(公告)号：CN105934533B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201580005170.1
申请日：2015-01-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C14/34 , H01L21/285
Abstract: 本发明的目的在于实现溅射靶的长寿命化与在此期间形成在基板上的薄膜的膜厚均匀性的兼顾，并提供一种溅射靶，其为包含靶材的溅射靶，其特征在于，所述靶材在其溅射面具有位于中央的圆形的平坦的第一区域和在所述第一区域的外侧与所述第一区域呈同心圆状地配置的环状的第二区域，所述第一区域配置在比所述第二区域以最大计低所述第二区域的厚度的15％的位置，所述第一区域的直径为所述溅射面的外周的直径的60％～80％。
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