公开(公告)号：CN108350566A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201780003736.6

申请日：2017-07-10

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 泷川干雄 ,  寺泽俊之

IPC: C23C14/34 ,  B23K20/00

Abstract: 溅射靶的制造方法，其中，利用热板，一边对靶材的上表面的中心部以先于该上表面的外周部的方式从上方进行推压，一边进行加热，从而将靶材扩散接合于背板材。

公开(公告)号：CN108350566B

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201780003736.6

申请日：2017-07-10

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 泷川干雄 ,  寺泽俊之

IPC: C23C14/34 ,  B23K20/00

Abstract: 溅射靶的制造方法，其中，利用热板，一边对靶材的上表面的中心部以先于该上表面的外周部的方式从上方进行推压，一边进行加热，从而将靶材扩散接合于背板材。