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公开(公告)号:CN103748787A
公开(公告)日:2014-04-23
申请号:CN201280040419.9
申请日:2012-08-22
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H9/1092 , H01L41/047 , H01L41/0475 , H01L41/0533 , H03H9/02992 , H03H9/105 , H03H9/171
Abstract: 提供能长时间保持振动空间的气密性的弹性波装置。为此,使弹性波装置(1)构成为具备:元件基板(3);位于元件基板(3)的主面(3a)的激励电极(5);和封盖(9),其包含包围激励电极(5)地位于元件基板(3)的主面上的框部(2)、以及与框部(2)重叠来堵塞框部(2)并且具有从框部(2)的内壁的上方边开始连续覆盖该内壁的至少一部分的下垂部(4a)的盖部(4)。
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公开(公告)号:CN108885165A
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201780021252.4
申请日:2017-03-29
Applicant: 京瓷株式会社
Abstract: 应力传感器具备:膜片;中间层,被配置在膜片的面上;感应膜,被配置在中间层上;和压电电阻元件,位于膜片中与中间层的外缘接触的区域。
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公开(公告)号:CN103748787B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201280040419.9
申请日:2012-08-22
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H9/1092 , H01L41/047 , H01L41/0475 , H01L41/0533 , H03H9/02992 , H03H9/105 , H03H9/171
Abstract: 提供能长时间保持振动空间的气密性的弹性波装置。为此,使弹性波装置(1)构成为具备:元件基板(3);位于元件基板(3)的主面(3a)的激励电极(5);和封盖(9),其包含包围激励电极(5)地位于元件基板(3)的主面上的框部(2)、以及与框部(2)重叠来堵塞框部(2)并且具有从框部(2)的内壁的上方边开始连续覆盖该内壁的至少一部分的下垂部(4a)的盖部(4)。
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