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公开(公告)号：CN1741378A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510095974.3
申请日：2005-08-29
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02614 , H03H9/02921
Abstract: 本发明涉及一种声表面波元件，在钽酸锂单晶体或铌酸锂单晶体所构成的、含氧量比化学计量比组成少的弱热电性的压电基板(1)上，形成氧化层(2)，在其之上形成IDT电极(3)。因此，能够消除弱热电性的压电基板的热电效应所导致的微细电极的静电破坏，且不会发生频率特性的劣化。
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公开(公告)号：CN100338873C
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200310104409.X
申请日：2003-10-28
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H03H9/25
Abstract: 一种弹性表面波元件，在压电基板6的一方主面上形成由一对公共电极(32)和从它延伸出来的多个电极指构成的至少2列IDT电极(8g)、输入输出焊盘电极(40a)，在所述压电基板(6)的一方主面外周部形成接地用环状电极(7)，构成所述任意列的IDT电极(8g)的一方的公共电极(32a)和所述接地用环状电极(7)一体形成。根据本发明的弹性表面波元件，能把所述焊盘电极(40a)的至少一个配置在2列所述IDT电极(8g)之间，所以能提供能实现小型化和良好的电特性的弹性表面波装置。
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公开(公告)号：CN1921302A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610121310.4
申请日：2006-08-22
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H3/08 , H01L2224/05001 , H01L2224/05144 , H01L2224/05147 , H01L2224/05155 , H01L2224/05166 , H01L2224/05169 , H01L2224/05171 , H01L2224/05644 , H01L2224/16225 , H01L2924/181 , H03H9/02559 , H03H9/059 , H03H9/1092 , H03H9/14541 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014
Abstract: 一种表面声波装置，包括形成于压电基片上的激励电极和将与安装基片连接的结合电极。所述结合电极设置有形成于所述压电基片上的下电极以及由粘合电极层和阻挡金属电极层形成的中间层。所述阻挡金属电极层包括至少一层杂质包含层。所述结合电极表现为形成以包围所述激励电极的环形电极和连接到所述激励电极的布线电极。所述压电基片、所述下电极和所述阻挡金属电极层中的至少一个的表面被轰击以使其成为粗糙表面。因此，能够抑制因每一层内所引起的薄膜应力而导致的翘曲。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1870425B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200610087834.6
申请日：2006-05-26
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H03H9/25
Abstract: 在压电基板(1)上，沿着在压电基板(1)上传播的弹性表面波的传播方向设置有多个IDT电极(2)～(7)，上述多个IDT电极(2)～(7)具有沿与传播方向垂直的方向延伸的多条电极指，同时，在多个IDT电极(2)～(7)中相邻两个IDT电极，分别由可变间距部分与固定间距部分来构成，可变间距部分的电极指间距趋向相邻两个IDT电极的边界逐渐变短，在两个可变间距部分中电极指间距的最小部位于从边界偏移单侧。从而，可以提供通频带宽较宽、插入损失较小、并且改善通频带的平坦性的弹性表面波装置。
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公开(公告)号：CN1741378B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200510095974.3
申请日：2005-08-29
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02614 , H03H9/02921
Abstract: 本发明涉及一种声表面波元件，在钽酸锂单晶体或铌酸锂单晶体所构成的、含氧量比化学计量比组成少的弱热电性的压电基板(1)上，形成氧化层(2)，在其之上形成IDT电极(3)。因此，能够消除弱热电性的压电基板的热电效应所导致的微细电极的静电破坏，且不会发生频率特性的劣化。
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公开(公告)号：CN100546180C
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200610121310.4
申请日：2006-08-22
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H03H3/08 , H01L2224/05001 , H01L2224/05144 , H01L2224/05147 , H01L2224/05155 , H01L2224/05166 , H01L2224/05169 , H01L2224/05171 , H01L2224/05644 , H01L2224/16225 , H01L2924/181 , H03H9/02559 , H03H9/059 , H03H9/1092 , H03H9/14541 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014
Abstract: 一种表面声波装置，包括形成于压电基片上的激励电极和将与安装基片连接的结合电极。所述结合电极设置有形成于所述压电基片上的下电极以及由粘合电极层和阻挡金属电极层形成的中间层。所述阻挡金属电极层包括至少一层杂质包含层。所述结合电极表现为形成以包围所述激励电极的环形电极和连接到所述激励电极的布线电极。所述压电基片、所述下电极和所述阻挡金属电极层中的至少一个的表面被轰击以使其成为粗糙表面。因此，能够抑制因每一层内所引起的薄膜应力而导致的翘曲。
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公开(公告)号：CN1870425A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200610087834.6
申请日：2006-05-26
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H03H9/25
Abstract: 在压电基板(1)上，沿着在压电基板(1)上传播的弹性表面波的传播方向设置有多个IDT电极(2)～(7)，上述多个IDT电极(2)～(7)具有沿与传播方向垂直的方向延伸的多条电极指，同时，在多个IDT电极(2)～(7)中相邻两个IDT电极，分别由可变间距部分与固定间距部分来构成，可变间距部分的电极指间距趋向相邻两个IDT电极的边界逐渐变短，在两个可变间距部分中电极指间距的最小部位于从边界偏移单侧。从而，可以提供通频带宽较宽、插入损失较小、并且改善通频带的平坦性的弹性表面波装置。
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公开(公告)号：CN1499717A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310104409.X
申请日：2003-10-28
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H03H9/25
Abstract: 一种弹性表面波元件，在压电基板6的一方主面上形成由一对公共电极(32)和从它延伸出来的多个电极指构成的至少2列IDT电极(8g)、输入输出焊盘电极(40a)，在所述压电基板(6)的一方主面外周部形成接地用环状电极(7)，构成所述任意列的IDT电极(8g)的一方的公共电极(32a)和所述接地用环状电极(7)一体形成。根据本发明的弹性表面波元件，能把所述焊盘电极(40a)的至少一个配置在2列所述IDT电极(8g)之间，所以能提供能实现小型化和良好的电特性的弹性表面波装置。
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