公开(公告)号：CN101855385B

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN200880115307.9

申请日：2008-11-03

Applicant: 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司

Inventor： A·潘沙尔 ,  D·贾汉

IPC: C23C16/24 ,  C23C16/40 ,  H01L31/18 ,  C23C16/28

CPC classification number: C23C16/24 ,  C23C16/28 ,  C23C16/407 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/04 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/1884 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及通过化学气相沉积(CVD)或通过物理气相沉积(PVD)向载体上沉积膜的方法，所述方法使用至少一种硼化合物。这种方法尤其可用于制造光生伏打太阳能电池。本发明还涉及硼化合物用于在CVD或PVD沉积方法中为材料赋予光和/或电性能的用途。这种方法还尤其可用于制造光生伏打太阳能电池。

公开(公告)号：CN101959794A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107597.7

申请日：2009-02-18

Applicant: 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司

Inventor： P·布里安 ,  B·阿尔班 ,  H·谢夫尔 ,  D·贾汉

IPC: C01B33/029 ,  C01B33/04 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45593 ,  C01B33/043 ,  C01B33/046 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4412

Abstract: 本发明涉及一种硅烷再循环方法，其包括如下连续步骤：a)将纯硅烷/纯氢气(SiH4/H2)混合物注入反应室中以制造含硅薄层；b)借助使用送料气的泵抽取包含步骤a)中未使用的过量硅烷和氢气的混合物(SiH4/H2)；c)在接近大气压力的压力下由所述泵排出包含至少硅烷(SiH4)、氢气(H2)和非零量所述送料气的混合物；和d)将硅烷(SiH4)与来自步骤c)的混合物产生的氢气/送料气混合物分离，如此所得硅烷包含小于100ppm送料气，优选小于10ppm送料气，更优选小于1ppm送料气；其特征在于至少50％，优选至少70％，更优选至少80％来自步骤b)的硅烷(SiH4)在步骤d)之后再用于新的步骤a)。

公开(公告)号：CN101855385A

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200880115307.9

申请日：2008-11-03

Applicant: 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司

Inventor： A·潘沙尔 ,  D·贾汉

IPC: C23C16/24 ,  C23C16/40 ,  H01L31/18 ,  C23C16/28

CPC classification number: C23C16/24 ,  C23C16/28 ,  C23C16/407 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/04 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/1884 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及通过化学气相沉积(CVD)或通过物理气相沉积(PVD)向载体上沉积膜的方法，所述方法使用至少一种硼化合物。这种方法尤其可用于制造光生伏打太阳能电池。本发明还涉及硼化合物用于在CVD或PVD沉积方法中为材料赋予光和/或电性能的用途。这种方法还尤其可用于制造光生伏打太阳能电池。