III族氮化物类化合物半导体元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN102142361A

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN201010615087.5

    申请日:2010-12-22

    Abstract: 本发明提供一种III族氮化物类化合物半导体元件的制造方法,通过在结晶成长基板上结晶成长外延成长层,利用金属层把外延成长层的最终成长层与支撑基板接合,除去结晶成长基板,把外延成长层的初期成长层的基底层作为支撑基板上的外延成长层的最上层。从最终成长层的一侧,形成由具有氮反应性的金属构成的第1层、由对氯等离子体蚀刻具有耐性的可进行湿式蚀刻的金属构成的第2层、由具有氮反应性的对湿式蚀刻具有耐性的金属构成的第3层。从半导体元件的基底层使用氯等离子体进行蚀刻露出第2层的表面而形成元件分离槽。通过湿式蚀刻除去露出在元件分离槽的底面上的第2层,使第3层露出在元件分离槽的底面上,在元件分离槽上覆盖绝缘性保护膜。

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