公开(公告)号：CN221147656U

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202323012732.6

申请日：2023-11-08

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 李雨 ,  陈亮 ,  范存冬

IPC: G01D11/00

Abstract: 本实用新型涉及光电检测技术领域，具体为一种嵌入式光电检测装置，包括装置主体、显示屏和防护壳，装置主体的上端安装有显示屏，装置主体的侧面焊接有防护壳，防护壳的上端开设有嵌入槽，防护壳内开设有L型导向槽，L型导向槽的下端贯穿开设有通槽，嵌入槽内活动插接有光电传感器，光电传感器的侧面焊接有对接块，光电传感器的下端匹配安装有连接线，连接线的一端穿过通槽与装置主体连接，防护壳内对称安装有定位机构，本实用新型的有益效果是：对光电传感器安装时，将光电传感器的下端沿着嵌入槽插入，通过设置的定位机构对对接块进行固定，从而使光电传感器与防护壳之间固定连接，此时将连接线的一端穿过通槽与光电传感器下端的接口连接。

公开(公告)号：CN222779359U

公开(公告)日：2025-04-22

申请号：CN202421487764.3

申请日：2024-06-27

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 李雨 ,  王燚迪 ,  范存冬 ,  周美琪

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B49/04 ,  B24B37/005

Abstract: 本实用新型公开了一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，包括底座和抛光仓，所述底座顶部的一端安装有抛光仓，且底座顶部远离抛光仓的一端安装有步进电机，所述步进电机的输出端安装有第一转轴，且第一转轴的顶部安装有转动板，所述抛光仓内部的底部安装有第三伺服电机。本实用新型安装有第二伺服电机、第二转轴、抛光磨片、磁性抛光盘、第三转轴和第三伺服电机，抛光时，第二伺服电机通过第二转轴带动抛光磨片顺时针转动，可通过抛光磨片对晶圆进行抛光处理，且第三伺服电机通过第三转轴带动磁性抛光盘逆时针转动，即可带动晶圆转动，可将晶圆不同位置处转动至抛光磨片下方进行抛光处理，有利于将晶圆抛光均匀。