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公开(公告)号:CN107560564B
公开(公告)日:2019-09-10
申请号:CN201710635739.3
申请日:2017-07-28
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种自由曲面检测方法,包括:采用三坐标测量设备对包括待测反射球面、投影屏和CCD相机在内的逆向哈特曼检验光路的结构位置参数S进行测量标定;根据测量标定的结构位置参数S,确定待测反射球面的面形误差数据W0;根据测量标定的结构位置参数S和面形误差数据W0,采用泽尼克拟合确定待测球面的面形偏差优化目标;根据确定的面形偏差优化目标,确定初始测量标定的结构位置参数S的各项偏差,并根据所述各项偏差确定待测反射面的实际面形误差ΔW。采用本发明,减小了自由曲面的面形测量误差。
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公开(公告)号:CN110160443A
公开(公告)日:2019-08-23
申请号:CN201910394156.5
申请日:2019-05-13
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种用于瞬态三坐标测量的光纤点衍射干涉装置,包括:光源,提供初始的入射光至光路调整模块;光路调整模块,将入射光分为若干束偏振光射出;数字偏振相机,接收出射光并采集所需干涉图像;计算机,与数字偏振相机连接,处理图像信息。本发明的实质性效果包括:采用偏振数字相机采集p偏振光和s偏振光经快轴方向与X轴呈45°夹角的四分之一波片得到的旋向相反的圆偏振光,两个旋向相反的偏振光经偏振数字相机前置的偏振片阵列后发生干涉,随着偏振片的透光轴方向旋转,干涉条纹相位也随之改变,无需PZT来实现微位移,降低了检测系统元件的复杂程度,提高了点衍射干涉系统的抗干扰能力。
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公开(公告)号:CN110160443B
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:CN201910394156.5
申请日:2019-05-13
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种用于瞬态三坐标测量的光纤点衍射干涉装置,包括:光源,提供初始的入射光至光路调整模块;光路调整模块,将入射光分为若干束偏振光射出;数字偏振相机,接收出射光并采集所需干涉图像;计算机,与数字偏振相机连接,处理图像信息。本发明的实质性效果包括:采用偏振数字相机采集p偏振光和s偏振光经快轴方向与X轴呈45°夹角的四分之一波片得到的旋向相反的圆偏振光,两个旋向相反的偏振光经偏振数字相机前置的偏振片阵列后发生干涉,随着偏振片的透光轴方向旋转,干涉条纹相位也随之改变,无需PZT来实现微位移,降低了检测系统元件的复杂程度,提高了点衍射干涉系统的抗干扰能力。
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公开(公告)号:CN109612570A
公开(公告)日:2019-04-12
申请号:CN201811652971.9
申请日:2018-12-29
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种模拟混频器与低通滤波器的时间延时测量系统与方法,包括:对高载波频率窄带宽信号使用模拟混频器与低通滤波器,基于相位展开法与三参数正弦逼近法,与高分辨率示波器,测量模拟混频器与低通滤波器降频转换时间延时;通过混模拟频器与低通滤波器对高载波频率窄带宽FM信号的降频作用,将高载波频率降至较低水平,从而可以使用较低采样率对FM信号进行采集;通过改变调制信号频率或载波频率,获得不同窄带宽或不同载波频率FM信号,通过解调与计算,得到不同频点或不同载波频率下的模拟混频器与低通滤波器的时间延时并进行补偿,从而提高测量精度。本发明具有测量过程简单、频率范围宽的优势。
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公开(公告)号:CN107560564A
公开(公告)日:2018-01-09
申请号:CN201710635739.3
申请日:2017-07-28
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种自由曲面检测方法,包括:采用三坐标测量设备对包括待测反射球面、投影屏和CCD相机在内的逆向哈特曼检验光路的结构位置参数S进行测量标定;根据测量标定的结构位置参数S,确定待测反射球面的面形误差数据W0;根据测量标定的结构位置参数S和面形误差数据W0,采用泽尼克拟合确定待测球面的面形偏差优化目标;根据确定的面形偏差优化目标,确定初始测量标定的结构位置参数S的各项偏差,并根据所述各项偏差确定待测反射面的实际面形误差ΔW。采用本发明,减小了自由曲面的面形测量误差。
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