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公开(公告)号:CN114959635B
公开(公告)日:2024-06-28
申请号:CN202210479949.9
申请日:2022-05-05
Applicant: 中国计量大学
IPC: C23C16/30 , B01J27/051 , C23C16/52 , C23C16/56 , H01L31/032 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法,其制备方案包括以下步骤:首先以氧化钼粉末和硫粉作为反应前驱体,氩气作为载气,在双温区管式炉中加热反应生长出单层二硫化钼;然后以硫化锡粉末和硫粉作为反应前驱体,氩气作为载气,以生长有二硫化钼的衬底作为生长基底,在双温区管式炉中加热反应生长出硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结。本发明制备的异质结由一维硫化锡和二维单层的二硫化钼所构成,所述硫化锡纳米线外延生长在所述二硫化钼的表面;该异质结材料化学性质稳定,光谱响应范围宽,且具有II型的能带结构便于光生载流子分离,在光电器件领域具有广泛的应用前景。本发明所采用的分步化学气相沉积法制备所述硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结具有晶体质量高、制备成本低、工艺简单、可重复高等优点。
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公开(公告)号:CN113278949B
公开(公告)日:2022-05-20
申请号:CN202110412003.6
申请日:2021-04-16
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种单层硫硒化钼合金组份可调的制备方法,采用钼箔、硫粉和硒粉作为生长源,溴化钠作为生长促进剂,通过一种面对面的短程垂直近稳态供源方式,借助氧气辅助生长制备出高质量、组分可调的单层硫硒化钼连续薄膜。本发明所述对钼箔进行表面盐浴处理,能够降低了钼源升华温度,有利于硫硒化钼的成核和二维生长;在生长中引入氧气,通过面对面的短程垂直近稳态供源方式能够控制硫硒化钼成核密度、单晶畴分布及其尺寸。该制备方法具有操作简单、反应条件温和、可控性好、重复性高,由该方法制得的单层硫硒化钼材料晶体质量高,其合金组分比和带隙能够随硫/硒源质量比连续可调。
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公开(公告)号:CN113278949A
公开(公告)日:2021-08-20
申请号:CN202110412003.6
申请日:2021-04-16
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种单层硫硒化钼合金组份可调的制备方法,采用钼箔、硫粉和硒粉作为生长源,溴化钠作为生长促进剂,通过一种面对面的短程垂直近稳态供源方式,借助氧气辅助生长制备出高质量、组分可调的单层硫硒化钼连续薄膜。本发明所述对钼箔进行表面盐浴处理,能够降低了钼源升华温度,有利于硫硒化钼的成核和二维生长;在生长中引入氧气,通过面对面的短程垂直近稳态供源方式能够控制硫硒化钼成核密度、单晶畴分布及其尺寸。该制备方法具有操作简单、反应条件温和、可控性好、重复性高,由该方法制得的单层硫硒化钼材料晶体质量高,其合金组分比和带隙能够随硫/硒源质量比连续可调。
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公开(公告)号:CN114959635A
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202210479949.9
申请日:2022-05-05
Applicant: 中国计量大学
IPC: C23C16/30 , B01J27/051 , C23C16/52 , C23C16/56 , H01L31/032 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结的制备方法,其制备方案包括以下步骤:首先以氧化钼粉末和硫粉作为反应前驱体,氩气作为载气,在双温区管式炉中加热反应生长出单层二硫化钼;然后以硫化锡粉末和硫粉作为反应前驱体,氩气作为载气,以生长有二硫化钼的衬底作为生长基底,在双温区管式炉中加热反应生长出硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结。本发明制备的异质结由一维硫化锡和二维单层的二硫化钼所构成,所述硫化锡纳米线外延生长在所述二硫化钼的表面;该异质结材料化学性质稳定,光谱响应范围宽,且具有II型的能带结构便于光生载流子分离,在光电器件领域具有广泛的应用前景。本发明所采用的分步化学气相沉积法制备所述硫化锡/二硫化钼混合维度范德华异质结具有晶体质量高、制备成本低、工艺简单、可重复高等优点。
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