公开(公告)号：CN112827754A

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN202110015971.3

申请日：2021-01-07

Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所

Inventor： 王雄 ,  陈立国 ,  朱涛 ,  薛立伟 ,  许晓斌 ,  贾玉蝶 ,  王南天

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  F16B11/00

Abstract: 本发明公开了一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备，所述X轴底座固定在机架底板顶部，所述X轴导轨和X轴滑块固定在X轴底座上，所述X轴滑块的顶部与Y轴底座的底部固定连接；所述视觉定位模块包括上相机安装板、上视觉相机、上光源、下相机安装板、下视觉相机和下光源，所述上相机安装板与U轴滑块固定连接，所述上视觉相机和上光源固定安装在上相机安装板的外侧，所述下相机安装板固定安装在机架底板上；MEMS摩阻传感器自动封装设备能够有效提高MEMS摩阻传感器组装、封装的一致性和精度，进而提升高超声速风洞模型表面摩阻测量试验的精准度。

公开(公告)号：CN117268255A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311226995.9

申请日：2023-09-21

Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所

Inventor： 王雄 ,  陈立国 ,  蒋万秋 ,  薛立伟 ,  周唯 ,  徐雨生 ,  高祥天

IPC: G01B7/34

Abstract: 本发明属于微机电系统技术领域，公开了一种MEMS摩阻试验粗糙形貌测量系统及测量方法。测量系统包括设备机架，以及安装在设备机架上的多轴精密驱动模块、高精度激光测距模块、运动控制模块、Y轴导轨、X轴导轨和Z轴导轨。测量系统基于高精度测距、多轴精密驱动和三维重建技术，具备MEMS摩阻传感器组装或者安装高度误差和试验模型表面粗糙形貌的纹理特征尺寸测量能力；测量方法能够有效测量MEMS摩阻传感器的浮动元件与封装管壳的平齐度误差以及试验模型表面粗糙形貌的纹理特征，将MEMS摩阻传感器依据测量数据进行微调后，能够有效提升高超声速风洞模型表面摩阻测量试验的精准度。

公开(公告)号：CN112827754B

公开(公告)日：2022-02-15

申请号：CN202110015971.3

申请日：2021-01-07

Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所

Inventor： 王雄 ,  陈立国 ,  朱涛 ,  薛立伟 ,  许晓斌 ,  贾玉蝶 ,  王南天

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  F16B11/00

Abstract: 本发明公开了一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备，所述X轴底座固定在机架底板顶部，所述X轴导轨和X轴滑块固定在X轴底座上，所述X轴滑块的顶部与Y轴底座的底部固定连接；所述视觉定位模块包括上相机安装板、上视觉相机、上光源、下相机安装板、下视觉相机和下光源，所述上相机安装板与U轴滑块固定连接，所述上视觉相机和上光源固定安装在上相机安装板的外侧，所述下相机安装板固定安装在机架底板上；MEMS摩阻传感器自动封装设备能够有效提高MEMS摩阻传感器组装、封装的一致性和精度，进而提升高超声速风洞模型表面摩阻测量试验的精准度。

公开(公告)号：CN214218166U

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202120029372.2

申请日：2021-01-07

Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所

Inventor： 王雄 ,  陈立国 ,  朱涛 ,  薛立伟 ,  许晓斌 ,  贾玉蝶 ,  王南天

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备，所述X轴底座固定在机架底板顶部，所述X轴导轨和X轴滑块固定在X轴底座上，所述X轴滑块的顶部与Y轴底座的底部固定连接；所述视觉定位模块包括上相机安装板、上视觉相机、上光源、下相机安装板、下视觉相机和下光源，所述上相机安装板与U轴滑块固定连接，所述上视觉相机和上光源固定安装在上相机安装板的外侧，所述下相机安装板固定安装在机架底板上；MEMS摩阻传感器自动封装设备能够有效提高MEMS摩阻传感器组装、封装的一致性和精度，进而提升高超声速风洞模型表面摩阻测量试验的精准度。