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公开(公告)号：CN117268255A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311226995.9
申请日：2023-09-21
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
IPC: G01B7/34
Abstract: 本发明属于微机电系统技术领域，公开了一种MEMS摩阻试验粗糙形貌测量系统及测量方法。测量系统包括设备机架，以及安装在设备机架上的多轴精密驱动模块、高精度激光测距模块、运动控制模块、Y轴导轨、X轴导轨和Z轴导轨。测量系统基于高精度测距、多轴精密驱动和三维重建技术，具备MEMS摩阻传感器组装或者安装高度误差和试验模型表面粗糙形貌的纹理特征尺寸测量能力；测量方法能够有效测量MEMS摩阻传感器的浮动元件与封装管壳的平齐度误差以及试验模型表面粗糙形貌的纹理特征，将MEMS摩阻传感器依据测量数据进行微调后，能够有效提升高超声速风洞模型表面摩阻测量试验的精准度。
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