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公开(公告)号:CN113564560A
公开(公告)日:2021-10-29
申请号:CN202110846323.2
申请日:2021-07-26
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明属于涂层制备技术领域,具体涉及一种采用化学气相沉积工艺在钛合金表面沉积非晶SiOC涂层的方法。采用热激发式化学气相沉积系统,选择六甲基二硅氧烷(HMDSO)或六甲基二硅烷(HMDS)或四乙氧基硅烷(TEOS)、无水乙醇(C2H5OH)、氢气(H2)和氩气(Ar)气体体系并控制有机硅烷和无水乙醇的比例,在工作压强100~1000Pa和温度为1000~1200℃条件下,在钛合金表面沉积出结构致密、厚度1~5μm的非晶SiOC涂层。该非晶SiOC涂层化学稳定性好、耐磨性好,抗氧化能力强,耐蠕变能力强,与钛合金基体之间具有良好的结合力。非晶SiOC涂层能够显著提高钛合金在高温下的使用性能,如蠕变性能、抗热抗冲击性能和抗氧化性能等等。
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公开(公告)号:CN111235563A
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN202010143441.2
申请日:2020-03-04
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明属于防护涂层制备领域,具体涉及一种采用冷喷涂制备Ta/Al复合抗辐照涂层的方法。该方法包括如下步骤:(1)将Ta粉与Al粉按照质量比(0.1~20):1混合配成复合粉末;(2)采用冷气动力喷涂设备,将制备的复合粉末喷涂到待防护器件基体表面,形成Ta/Al复合涂层。本发明方法可以制备用于电子封装外表面的抗辐照涂层,并兼顾了空间辐照粒子的不同能量范围。
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公开(公告)号:CN111235562A
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN202010143434.2
申请日:2020-03-04
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: C23C24/04
Abstract: 本发明属于防护涂层制备领域,具体涉及一种采用冷喷涂制备抗辐照钽涂层的方法。该方法包括以下步骤:(1)采用冷气动力喷涂技术,将Al或Ti金属粉末喷涂到器件基体表面,形成金属打底涂层;(2)采用冷气动力喷涂技术,将纯Ta粉喷涂到打底涂层上,形成Ta涂层。本发明有效地避免了制备钽涂层需要的高温条件,以及由此带来的氧化等性能降低问题。本发明采用冷喷涂制备抗辐照钽涂层,可以用于电子封装器件外表面的抗辐照防护。
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公开(公告)号:CN117684116A
公开(公告)日:2024-03-12
申请号:CN202211104365.X
申请日:2022-09-09
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: C23C4/12 , C23C4/02 , G06F30/20 , G06F111/10
Abstract: 本发明属于涂层制备领域,具体涉及一种轴承外圈涂层制备用夹具、喷涂工艺及喷枪轨迹优化方法。本发明轴承外圈涂层制备用夹具为分裂式可扩张型夹具,通过长颈螺栓与螺母的预紧力保证分裂式夹具与轴承外圈内周面紧密配合,以支撑轴承外圈运动。本发明喷涂工艺规程包括轴承外圈清洁处理、轴承外圈的夹持与保护、表面粗化处理、涂层制备、夹具拆卸等。本发明喷枪轨迹优化方法包括通过试验获得沉积粒子特征参数空间分布曲线和针对轴承外圈表面的空间路径规划和轨迹优化两个过程。通过本发明上述措施,可提高轴承外圈涂层制备的均匀性、致密性、高效性,实现低成本高效率地在轴承外圈表面制备涂层,且可精确控制涂层内部组织与尺寸精度。
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公开(公告)号:CN116770300A
公开(公告)日:2023-09-19
申请号:CN202210214871.8
申请日:2022-03-07
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及绝缘轴承领域,具体为一种复合结构绝缘涂层及其制备方法和使用该复合结构绝缘涂层的绝缘轴承。该复合结构绝缘涂层具有三层堆叠结构,由下而上包括:金属陶瓷复合底层、陶瓷绝缘层、金属镀层。其制备方法依次包括:工件清洗与表面粗化处理→金属陶瓷复合底层制备→陶瓷绝缘层制备→陶瓷绝缘层封孔→陶瓷绝缘层表面磨削→金属镀层制备。复合结构绝缘涂层至少部分施加在:轴承外圈外周面与轴承外圈两轴向端面,或/和,轴承内圈内周面与轴承内圈两轴向端面。本发明复合结构绝缘涂层改善了现有绝缘轴承在生产、装配、使役等过程中的绝缘性能下降问题,带有该复合结构绝缘涂层的绝缘轴承抗高电压击穿,机械稳定性好,环境适应能力强。
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公开(公告)号:CN117385317A
公开(公告)日:2024-01-12
申请号:CN202210780565.0
申请日:2022-07-04
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及γ‑TiAl合金高温防护涂层制备技术,具体为一种提高γ‑TiAl合金抗高温氧化性能的Si元素改性涂层及其制备方法。选用Al‑Si合金粉末、聚乙烯醇水溶液、乙醇水溶液按质量比为12:10:3混合后球磨2h配置Al‑Si料浆,之后采用空气喷涂法在喷砂后的γ‑TiAl基体合金上喷涂Al‑Si料浆,经固化后得到涂层;随后在600~750℃真空或通氩气热处理2~8h,随炉冷却。热处理过程中,Al和Si共同渗入TiAl合金基体表面,制备出Si元素改性涂层。涂层主要由Ti(Al,Si)3相组成,Si在涂层中均匀分布。本发明制备方法操作简单,热扩散温度低,成分容易控制,所获涂层与基体相容性、结合力好,可以显著提高TiAl合金的抗高温氧化性能。
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公开(公告)号:CN113684467A
公开(公告)日:2021-11-23
申请号:CN202110844642.X
申请日:2021-07-26
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明属于涂层制备技术领域,具体涉及一种采用化学气相沉积工艺制备非晶SiOC涂层的方法。采用热激发式化学气相沉积系统,选择六甲基二硅氧烷(HMDSO)或六甲基二硅烷或四乙氧基硅烷、无水乙醇、氢气和氩气气体体系并控制有机硅烷和无水乙醇的比例,在工作压强10~1000Pa和温度为1000~1200℃条件下,在不锈钢、碳钢或其他合金表面沉积出结构致密、厚度0.1~50μm的非晶SiOC涂层,非晶SiOC涂层硬度范围为6GPa~15GPa,摩擦系数范围为0.02~0.2。该非晶SiOC涂层化学稳定性好、耐磨性好,抗氧化能力强,耐蠕变能力强,与不锈钢、碳钢及其他合金基体之间具有良好的结合力。非晶SiOC涂层能够显著提高不锈钢的摩擦磨损性能,延长金属材料的使用寿命。
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公开(公告)号:CN110144567A
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201910491081.2
申请日:2019-06-06
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明属于涂层制备技术领域,具体涉及一种采用化学气相沉积工艺在硅基体上制备超厚碳化硅梯度涂层的方法。采用热激发式化学气相沉积系统,选择SiH4(硅烷)、CH3SiCl3(甲基三氯硅烷)、CH4(甲烷)和H2(氢气)气体体系并控制各组分气体流量线性变化,在工作压强100~1000Pa和温度为1050~1350℃条件下,沉积出结构致密、超厚的碳化硅梯度涂层。根据成分,由Si基材开始该涂层由Si/SiC梯度涂层、纯SiC涂层、SiC/C梯度涂层、纯C涂层、C/SiC梯度涂层以及纯SiC涂层组成。采用本发明方法沉积的SiC梯度涂层具有结构致密、无明显裂纹和与基材结合良好等特点。由于梯度设计有效地解决SiC涂层与Si基体之间的应力问题,采用本发明方法制备出的梯度涂层的厚度可达2mm。
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公开(公告)号:CN106435536A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201611016553.1
申请日:2016-11-18
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: C23C18/16
CPC classification number: C23C18/1632 , C23C18/1662
Abstract: 本发明涉及表面防护、改性领域,具体地说是一种用于细长管件内表面化学镀及化学复合镀的装置及方法。该装置包括:敏化液槽、活化液槽、碱洗液槽、酸洗液槽、纯水槽、镀液槽、汇流排、细长管件、支架、加热补偿装置、脉冲耐蚀泵、常压耐蚀泵、加热装置、出液总线、回液总线等,前处理液及化学镀液从镀液槽开始,经加热装置、脉冲耐蚀泵和/或常压耐蚀泵、加热补偿装置、待镀细长管件,流回镀液槽。本发明装置和方法可用于内径大于等于3mm、长径比达到100:1的细长管件内表面耐磨、耐蚀防护及改性处理,具有批处理能力,适用于多种基材。此外,通过成分调整及后期热处理,所获细长管件内表面化学镀及化学复合镀层硬度及耐磨性可进一步提高。
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公开(公告)号:CN111235562B
公开(公告)日:2022-01-14
申请号:CN202010143434.2
申请日:2020-03-04
Applicant: 中国科学院金属研究所 , 中国电子科技集团公司第四十七研究所
IPC: C23C24/04
Abstract: 本发明属于防护涂层制备领域,具体涉及一种采用冷喷涂制备抗辐照钽涂层的方法。该方法包括以下步骤:(1)采用冷气动力喷涂技术,将Al或Ti金属粉末喷涂到器件基体表面,形成金属打底涂层;(2)采用冷气动力喷涂技术,将纯Ta粉喷涂到打底涂层上,形成Ta涂层。本发明有效地避免了制备钽涂层需要的高温条件,以及由此带来的氧化等性能降低问题。本发明采用冷喷涂制备抗辐照钽涂层,可以用于电子封装器件外表面的抗辐照防护。
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