公开(公告)号：CN101210345A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200610169751.1

申请日：2006-12-28

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 杨少延 ,  刘祥林 ,  赵凤瑷 ,  焦春美 ,  董向芸 ,  张晓沛 ,  范海波 ,  魏宏源 ,  张攀峰 ,  王占国

IPC: C30B25/02 ,  C30B29/16 ,  H01L21/365

Abstract: 本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置，包括：衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度，而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区，下部为恒温区，工作时处于高温状态，由热容大的加热器、控温探头和保温层构成；上部为调温区，由热容小导热好的衬底托盘、衬底、测温探头和隔热层构成，通过控制进入导热托盘与隔热层间隙的调温气体的开关时间和吹气流量来实现低温P型掺杂生长和高温快速退火的温度周期调制。本发明同时公开了一种生长氧化锌薄膜的方法。利用本发明，能提高氧化锌薄膜结晶质量和实现均匀生长，并满足制备短波长光电器件需要。

公开(公告)号：CN1832111A

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200510054173.2

申请日：2005-03-09

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 丛光伟 ,  刘祥林 ,  董向芸 ,  魏宏源 ,  王占国

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/44 ,  C23C16/40

Abstract: 一种生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构，包括：一上罩机构为一桶状，底部开有一圆孔，侧壁上开有一侧孔；一下罩机构为一管状，该上罩机构、下罩机构固接；一辅气气嘴机构包括：一柱体，下面固接有一喇叭口；一三路喷气气嘴机构包括：一固定座为圆筒形，该固定座的小径端插入并固定在侧孔内；一气嘴座为一柱体，包括一大径端和小径端，该小径端的直径与固定座内孔相同，该气嘴座插入固定座内孔固定，该气嘴座的纵向开有三个通孔，该通孔为阶梯状，该通孔朝向内端插接有三根气体喷管，朝向外端插接有三根金属管；一旋转机构包括：一旋转轴，该旋转轴的一端与底座上的通凹孔配合，另一端固定一托盘，该托盘正对着辅气气嘴机构上的喇叭口。

公开(公告)号：CN100590236C

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200610169751.1

申请日：2006-12-28

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 杨少延 ,  刘祥林 ,  赵凤瑷 ,  焦春美 ,  董向芸 ,  张晓沛 ,  范海波 ,  魏宏源 ,  张攀峰 ,  王占国

IPC: C30B25/02 ,  C30B29/16 ,  H01L21/365

Abstract: 本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置，包括：衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度，而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区，下部为恒温区，工作时处于高温状态，由热容大的加热器、控温探头和保温层构成；上部为调温区，由热容小导热好的衬底托盘、衬底、测温探头和隔热层构成，通过控制进入导热托盘与隔热层间隙的调温气体的开关时间和吹气流量来实现低温P型掺杂生长和高温快速退火的温度周期调制。本发明同时公开了一种生长氧化锌薄膜的方法。利用本发明，能提高氧化锌薄膜结晶质量和实现均匀生长，并满足制备短波长光电器件需要。

公开(公告)号：CN100353171C

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：CN200410098998.X

申请日：2004-12-23

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 丛光伟 ,  彭文琴 ,  吴洁君 ,  魏宏源 ,  刘祥林 ,  王占国

IPC: G01R31/26 ,  G01N21/63

Abstract: 一种用于电调制光致发光光谱测量的样品架，其特征在于，包括：一绝缘架，该绝缘架为一管状，该绝缘架的一端有一用于固定的法兰，该绝缘架的管壁上开有六个螺孔，与该六个螺孔成90度的方向开有两个观察孔；一载样品杆，该载样品杆概成一杆状，其直径与绝缘架的内径相同，该载样品杆的一端为一十字形的端部，另一端为一旋转端，中间为杆部，该载样品杆插入在绝缘架的内径中；六个电极，该六个电极为螺丝，该六个电极的一端为锥状，其另一端为旋转部，该六个电极分别螺入绝缘架上的螺孔中。

公开(公告)号：CN1797018A

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200410098998.X

申请日：2004-12-23

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 丛光伟 ,  彭文琴 ,  吴洁君 ,  魏宏源 ,  刘祥林 ,  王占国

IPC: G01R31/26 ,  G01R31/00 ,  G01N21/25

Abstract: 一种用于电调制光致发光光谱测量的样品架，其特征在于，包括：一绝缘架，该绝缘架为一管状，该绝缘架的一端有一用于固定的法兰，该绝缘架的管壁上开有六个螺孔，与该螺孔成90度的方向开有两个观察孔；一载样品杆，该载样品杆概成一杆状，其直径与绝缘架的内径相同，该载样品杆的一端为一十字形的端部，另一端为一旋转端，中间为杆部，该载样品杆插入在绝缘架的内径中；六个电极，该电极为螺丝，该电极的一端为锥状，其另一端为旋转部，该六个电极分别螺入绝缘架上的螺孔中。