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公开(公告)号：CN104819973B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510151989.0
申请日：2015-04-01
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种测试复合硅衬底上多层石墨烯样品层数的方法，包括如下步骤：利用椭圆偏光仪获得SiO2/Si衬底表面SiO2层的厚度，在SiO2/Si衬底上通过微机械剥离方法或各种转移方法获得多层石墨烯样品，利用显微拉曼谱仪分别测试SiO2/Si衬底被和未被石墨烯样品覆盖部分的一阶硅拉曼信号强度比I(SiG)/I(Si0)，与理论计算结果进行对照，即可确定多层石墨烯样品层数。本发明实验测试方法简单，不依赖于SiO2/Si衬底的取向和入射激光的偏振状态，对不同的实验测试系统具有普适性，适用于100层以内多层石墨烯样品的层数表征。
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公开(公告)号：CN102445273A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110283004.1
申请日：2011-09-22
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01J3/44
Abstract: 本发明公开了一种用于测量低波数拉曼信号的装置，包括：激发光源；体光栅带通滤光片，用于过滤掉激光的等离子线而纯化激光线；第一体光栅陷波滤光片，位于体光栅带通滤光片将激光反射后的光路上；显微物镜，用于将由第一体光栅陷波滤光片反射来的激光聚焦到样品上来激发拉曼光谱信号；第二体光栅陷波滤光片和第三体光栅陷波滤光片，位于样品拉曼信号光经显微物镜收集并穿过体光栅陷波滤光片之后的光路上；三个支撑底座；聚焦透镜，用于将由第三体光栅陷波滤光片透过来的拉曼信号汇聚入单光栅光谱仪的入口；以及单光栅光谱仪，用于收集拉曼信号。本发明可以用来探测小至5波数的拉曼光谱信号，将在研究材料的低频拉曼光谱方面发挥重要作用。
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公开(公告)号：CN104819973A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510151989.0
申请日：2015-04-01
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种测试复合硅衬底上多层石墨烯样品层数的方法，包括如下步骤：利用椭圆偏光仪获得SiO2/Si衬底表面SiO2层的厚度，在SiO2/Si衬底上通过微机械剥离方法或各种转移方法获得多层石墨烯样品，利用显微拉曼谱仪分别测试SiO2/Si衬底被和未被石墨烯样品覆盖部分的一阶硅拉曼信号强度比I(SiG)/I(Si0)，与理论计算结果进行对照，即可确定多层石墨烯样品层数。本发明实验测试方法简单，不依赖于SiO2/Si衬底的取向和入射激光的偏振状态，对不同的实验测试系统具有普适性，适用于100层以内多层石墨烯样品的层数表征。
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公开(公告)号：CN102818799A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210244442.1
申请日：2011-03-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种原位显微拉曼表征系统，该系统包括：内含石墨烯片和三氯化铁的密闭相通的玻璃管和比色皿；一激光器；一拉曼光谱仪；一加热台；一升降台；一平移台；两振镜。本发明提供的原位显微拉曼表征系统可用来原位表征石墨烯片/三氯化铁插层化合物的显微拉曼光谱，并能原位监测石墨烯片/三氯化铁插层化合物的形成情况。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102354048A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110306261.2
申请日：2011-10-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明公开了一种电动改变滤光片工作波长的装置，包括：一底板，一固定基座被固定在底板上中间上端，一蜗杆的一端安装在固定基座上，一步进电机安装在底板中间的下端并与蜗杆的另一端连接，两固定轴对称地固定在蜗杆的两侧，两涡轮分别滑配地固定在两固定轴上且与蜗杆齿轮匹配，两晶片固定器分别固定在两涡轮上，一滤光片安装在一个晶片固定器上，一光学晶片组安装在另一个晶片固定器上。本发明结构简单，滤光片的工作波长可在一定范围内被电动精确地控制，从而很大程度上降低了滤光片的使用成本和提高了拉曼谱仪的自动化水平。
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公开(公告)号：CN102374901A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110283005.6
申请日：2011-09-22
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01J3/44
Abstract: 本发明公开了一种用于测量低波数拉曼信号的单光栅拉曼光谱测试系统，包括：激光源；体光栅带通滤光片，位于激光光路上，用于过滤掉激光的等离子线而纯化激光线；分束器，位于体光栅带通滤光片将激光反射后的光路上，将经体光栅带通滤光片纯化的激光反射到显微物镜；显微物镜，用于将激光聚焦到样品上来激发拉曼光谱信号；三个依次排列的体光栅陷波滤光片，位于样品拉曼信号光经显微物镜收集并穿过分束器之后的光路上；聚焦透镜，用于将拉曼信号汇聚入单光栅光谱仪的入口处；以及含探测器的单光栅光谱仪，用来收集拉曼信号。本发明可以用来探测小至5波数的拉曼光谱信号，使显微拉曼光谱仪在测低波数拉曼光谱方面比红外光谱仪更具有显著的优势。
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公开(公告)号：CN102359937A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201110283022.X
申请日：2011-09-22
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种精确调节拉曼滤光片工作角度的装置，包括：底板(1)；固定于该底板(1)上的悬臂支撑架(2)，在该悬臂支撑架(2)上具有只能沿固定方向移动的受限移动滑块(3)，且该受限移动滑块(3)上具有一个螺孔；位于该受限移动滑块的螺孔中的内六角顶丝(4)；与该内六角顶丝(4)紧密固定的圆锥体(5)；固定于该底板(1)上的固定挡板(6)；以及置于该底板(1)上的可旋转挡板(7)，该圆锥体(5)放置在该固定挡块(6)和该可旋转挡块(7)形成的夹缝之间。利用此装置可以精确调节拉曼滤光片的工作角度，进而精确控制拉曼滤光片的工作波长，可用于拉曼谱仪中各种滤光片工作波长的精确控制。
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公开(公告)号：CN102156116A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110059829.5
申请日：2011-03-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯片插层化合物的制备方法及原位显微拉曼表征系统，制备方法包括将石墨烯片和三氯化铁分别放置于相互连接相通的玻璃管和比色皿，用分子泵将玻璃管和比色皿抽成真空后用酒精灯密封住，加热到340摄氏度并保持6至24小时，降温到常温。原位显微拉曼表征系统包括：内含石墨烯片和三氯化铁的密闭相通的玻璃管和比色皿；一激光器；一拉曼光谱仪；一加热台；一升降台；一平移台；两振镜。本发明提供的石墨烯片/三氯化铁插层化合物的制备方法简单实用，原位显微拉曼表征系统可用来原位表征石墨烯片/三氯化铁插层化合物的显微拉曼光谱，并能原位监测石墨烯片/三氯化铁插层化合物的形成情况。
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公开(公告)号：CN102507529A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110288486.X
申请日：2011-09-26
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种显微共焦拉曼光谱仪，该光谱仪包括显微共焦拉曼模块和与之匹配的单光栅光谱仪，其中显微共焦拉曼模块包含反射镜、可调角度滤光片架、样品监测光路、拉曼滤光片、显微物镜、汇聚透镜和可调大小针孔。利用显微共焦拉曼模块将激光聚焦到样品并显微观测样品以及相应激光斑点，同时将拉曼信号显微共焦到可调大小针孔，并利用单光栅光谱仪探测拉曼信号。本发明提供了一种简单、经济和调节方便的新的显微共焦拉曼光谱仪，可实现样品以及相应激光斑点的显微观测，将在材料的拉曼光谱测量方面发挥潜在的作用。
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