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公开(公告)号:CN112229815A
公开(公告)日:2021-01-15
申请号:CN202011099724.8
申请日:2020-10-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/3586 , G01N21/59
Abstract: 一种蝶形超材料光学传感器,包括:衬底(1);超材料阵列层(2),所述超材料阵列层(2)生长于衬底(1)的表面;所述超材料阵列层(2)的构成成分全是金属,或金属与二维材料的组合;所述超材料阵列层(2)的结构是阵列排布的多个周期性单元,所述多个周期性单元中的每一个周期性单元由两个尖端元素结构相对构成,呈蝶形对称结构。本发明提供了一种高灵敏度、窄线宽的场增强型超材料光学传感器,通过对该蝶形超材料的结构参数进行设计,可以灵活的调节该传感器的灵敏度和光谱响应波段。
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公开(公告)号:CN112202049B
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202011068518.0
申请日:2020-09-30
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 北京工业大学
Abstract: 本公开提供一种基于液晶调控的垂直腔面发射激光器,包括:第一半导体层,用于发射激发光,其表面为开设有凹槽的GaAs保护层,所述凹槽处作为所述激发光的中心出光孔,微调控层位于所述GaAs保护层上,所述微调控层对应所述凹槽设置有一容纳空间,所述凹槽和所述容纳空间共同构成一液晶盒,所述液晶盒内填充有液晶材料;本公开还包括一种基于液晶调控的垂直腔面发射激光器的制备方法;本公开可以根据激光器工作状态和需要,动态调控输出的模式,不用高度依赖表面反相结构的精度,可以灵活地调节激光器的输出功率,可精确控制凹槽部分和非凹槽部分对谐振波长的反射率,从而控制不同横模的往返损耗。
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公开(公告)号:CN112229815B
公开(公告)日:2024-07-30
申请号:CN202011099724.8
申请日:2020-10-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/3586 , G01N21/59
Abstract: 一种蝶形超材料光学传感器,包括:衬底(1);超材料阵列层(2),所述超材料阵列层(2)生长于衬底(1)的表面;所述超材料阵列层(2)的构成成分全是金属,或金属与二维材料的组合;所述超材料阵列层(2)的结构是阵列排布的多个周期性单元,所述多个周期性单元中的每一个周期性单元由两个尖端元素结构相对构成,呈蝶形对称结构。本发明提供了一种高灵敏度、窄线宽的场增强型超材料光学传感器,通过对该蝶形超材料的结构参数进行设计,可以灵活的调节该传感器的灵敏度和光谱响应波段。
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公开(公告)号:CN112993748B
公开(公告)日:2022-10-14
申请号:CN202110186788.X
申请日:2021-02-10
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供了一种基于液晶调控的垂直腔面发射激光器,所述垂直腔面发射激光器包括传统氧化限制型垂直腔面发射激光器结构和液晶模式调制结构,其中,传统氧化限制型垂直腔面发射激光器结构,用于发射激发模式;液晶模式调制结构,位于所述传统氧化限制型垂直腔面发射激光器结构之上,通过液晶折射率的改变实现对传输光场损耗的影响,从而控制激射模式。本发明还提供了一种用于制备上述基于液晶调控的垂直腔面发射激光器的制备方法。
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公开(公告)号:CN112993748A
公开(公告)日:2021-06-18
申请号:CN202110186788.X
申请日:2021-02-10
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供了一种基于液晶调控的垂直腔面发射激光器,所述垂直腔面发射激光器包括传统氧化限制型垂直腔面发射激光器结构和液晶模式调制结构,其中,传统氧化限制型垂直腔面发射激光器结构,用于发射激发模式;液晶模式调制结构,位于所述传统氧化限制型垂直腔面发射激光器结构之上,通过液晶折射率的改变实现对传输光场损耗的影响,从而控制激射模式。本发明还提供了一种用于制备上述基于液晶调控的垂直腔面发射激光器的制备方法。
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公开(公告)号:CN112202049A
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:CN202011068518.0
申请日:2020-09-30
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 北京工业大学
Abstract: 本公开提供一种基于液晶调控的垂直腔面发射激光器,包括:第一半导体层,用于发射激发光,其表面为开设有凹槽的GaAs保护层,所述凹槽处作为所述激发光的中心出光孔,微调控层位于所述GaAs保护层上,所述微调控层对应所述凹槽设置有一容纳空间,所述凹槽和所述容纳空间共同构成一液晶盒,所述液晶盒内填充有液晶材料;本公开还包括一种基于液晶调控的垂直腔面发射激光器的制备方法;本公开可以根据激光器工作状态和需要,动态调控输出的模式,不用高度依赖表面反相结构的精度,可以灵活地调节激光器的输出功率,可精确控制凹槽部分和非凹槽部分对谐振波长的反射率,从而控制不同横模的往返损耗。
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