公开(公告)号：CN104460223A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410815582.9

申请日：2014-12-23

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 吴艳华 ,  王飞飞 ,  胡发杰 ,  金鹏 ,  王占国

IPC: G03F1/42 ,  G03F9/00 ,  H01S5/22

CPC classification number: G03F1/42 ,  G03F9/00 ,  H01S5/22

Abstract: 本发明提供了一种掩模板、套刻对准方法及制备脊形波导激光器的方法。该掩模板包括：第一条形图案；以及辅助对准窗口，为与所述第一条形图案垂直的条形图案；其中，所述第一条形图案与辅助对准窗口均为透明图案，在曝光之前，通过所述辅助对准窗口可观察所述第一条形图案与下方半导体基体上的第二条形图案的对准情况。本发明能够借助辅助对准窗口观察第一条形图案是否与下方半导体基体上的第二条形图案对准，方便了两者位置的修正，从而达到提高对版精度和研发效率。

公开(公告)号：CN104485403A

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201410854195.6

申请日：2014-12-31

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 王飞飞 ,  吴艳华 ,  胡发杰 ,  金鹏 ,  王占国

IPC: H01L33/00 ,  H01L33/20

CPC classification number: H01L33/58 ,  H01L33/005 ,  H01L2933/0008

Abstract: 本发明提出采用曲率渐变的弯曲波导量子点超辐射发光管及其制造方法。其包括衬底和位于衬底上的量子点增益介质，以及波导结构，包括直段部分和弯曲部分，弯曲部分的曲线分别是多项式的一部分、双曲线的一部分、椭圆的一部分。本发明的弯曲损耗随着曲率半径的减小而增加，为了够减小损耗。而且，本发明在不改变弯曲部分长度和最终偏离角度的情况下能够增大输出功率，仍然可以保持相似的光谱输出。